产品名称：TK富士金S4BV紧凑型高纯气动隔膜阀

TK富士金S4BV紧凑型先导式高纯气动隔膜阀

TK富士金S4BV紧凑型先导式高纯气动隔膜阀

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一、材质与基础规格

阀体：316L 不锈钢，EP 电解抛光隔膜片：PFA驱动方式：气动先导式流道形式：直通型接口规格：X1，焊接 / 卡套可选后缀 P：高纯清洗，洁净真空包装适用流体：超纯水、高纯酸碱药液、惰性工艺气体不适用：强有机溶剂、浓强碱

二、性能参数

*高使用压力：3.5MPa工作温度：0～80℃先导驱动气源：干燥无油氮气 / 压缩空气，0.4~0.7MPa氦检漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s内壁粗糙度 Ra≤0.25μm流道：直通低死体积结构，减少流体滞留

三、产品特点

1. 紧凑型直通阀体，安装占用空间小，适合设备密集集成的 UHP 管路。

2. PFA 隔膜片，耐酸碱腐蚀，介质不接触金属，抑制金属离子析出。

3. 316L EP 抛光阀体，内壁光滑，降低微粒产生，满足 UHP 超纯流体要求。

4. VM 先导执行机构，结构紧凑，启闭响应稳定，适配自动化制程远程开关控制。

5. 出厂超纯水清洗、洁净包装，洁净室可直接装配。

四、应用领域

半导体晶圆制程、液晶面板、光伏电池产线设备内部集成支路超纯水与高纯化学品管路，实验室超高纯流体系统。

五、注意事项

1. 先导气源必须干燥无油，油雾、水分会加速 PFA 隔膜老化，造成动作失效。

2. 安装前管路吹扫洁净，硬质颗粒会划伤隔膜引发内漏。

3. 介质温度、压力严禁超过额定范围，高温缩短隔膜使用寿命。

4. 该阀仅用作通断开关，不可作为流量调节阀使用。

5. 拆装作业在洁净环境下操作，佩戴无尘手套，禁止触碰阀内流道。