产品名称：TK 富士金S12HFLDV高耐久气动金属隔膜阀

TK 富士金S12HFLDV高耐久气动金属隔膜阀

TK 富士金S12HFLDV高耐久气动金属隔膜阀

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一、材质与基础规格

阀体：316L VAR 不锈钢，EP 电解抛光隔膜片：NCF718 镍钴合金金属隔膜阀座：PCTFE驱动方式：PVM 气动先导式流道形式：L 型角式（TW）接口规格：X1，焊接 / 卡套可选后缀 P：高纯清洗，洁净真空包装适用流体：高纯工艺气体、特种腐蚀药液、超纯水不适用：强有机溶剂

二、性能参数

*高使用压力：1.0MPa工作温度：-10～80℃先导驱动气源：干燥无油氮气 / 压缩空气，0.4~0.6MPa氦检漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s内壁粗糙度 Ra≤0.25μm流道：L 型低死体积大流道，适配大流量转向配管

三、产品特点

1. L 型角式大流道，管路转向安装，省去额外弯头，减少泄漏点位，适合设备内部紧凑配管。

2. NCF718 金属隔膜，抗疲劳性能优异，可承受数十万次高频启闭循环，远超 PFA 隔膜寿命。

3. 316L VAR EP 锻造阀体，金属离子析出极低，微粒控制满足晶圆制程严苛 UHP 要求。

4. P1+PVM 先导执行机构，推力充足，大口径阀体启闭响应稳定，适配自动化远程控制。

5. 出厂超纯水清洗、双层洁净真空包装，洁净室可直接装配使用。

四、应用领域

半导体刻蚀、薄膜沉积、扩散等高循环大流量工艺气体管路，特种高纯化学品输送系统，光伏与面板 UHP 流体转向主管路。

五、注意事项

1. 先导气源必须干燥无油，油雾、水分会造成 PVM 执行机构动作卡顿失效。

2. 安装前管路充分吹扫，硬质颗粒会损伤 PCTFE 阀座与金属隔膜，引发内漏。

3. 介质温度、压力严禁超过额定范围，高温会加速阀座老化。

4. 该阀仅用作通断开关，不可作为流量调节阀使用。

5. 拆装作业在洁净环境下操作，佩戴无尘手套，禁止触碰阀内流道。