干式螺杆真空技术解析ULVAC 爱发科LS120干式真空泵应用详解

日期：2026-10-02 12:18

浏览次数：1

摘要：产品概述 ULVAC 爱发科 LS120 干式螺杆真空泵，是品牌 LS 系列主打工业制程的无油干式真空设备，依靠螺杆转子啮合完成气体抽排，全程无需真空油作为密封介质，能够获得洁净无油的真空环境，广泛应用于半导体工艺、镀膜、真空干燥、化工脱气、热处理等对真空洁净度有严格要求的工业场景，是中大型真空产线里通用性极强的主力干式泵机型。技术原理 LS120 采用一对精密型螺杆转子，转子在泵腔内部同步反向旋转，转子之间、转子与泵体之间保持微小间隙，不发生物理接触。随着螺杆持续转动，进...

产品概述

ULVAC 爱发科 LS120 干式螺杆真空泵，是品牌 LS 系列主打工业制程的无油干式真空设备，依靠螺杆转子啮合完成气体抽排，全程无需真空油作为密封介质，能够获得洁净无油的真空环境，广泛应用于半导体工艺、镀膜、真空干燥、化工脱气、热处理等对真空洁净度有严格要求的工业场景，是中大型真空产线里通用性极强的主力干式泵机型。

技术原理

LS120 采用一对精密型螺杆转子，转子在泵腔内部同步反向旋转，转子之间、转子与泵体之间保持微小间隙，不发生物理接触。随着螺杆持续转动，进气口吸入的气体被封闭在螺杆齿槽容积内，沿着轴向向排气口持续输送，容积不断压缩，*终从排气端排出。因为转子无接触运转，不需要润滑油参与腔体密封，从根源上避免油蒸汽返流污染真空腔体。泵体配套冷却流道，带走压缩过程产生的热量，保障长时间连续运行状态下整机温度稳定，适配 24 小时不间断生产工况。

核心产品特点

无油干式结构，真空环境不会受到油雾污染，可满足洁净工艺要求，消除油返流造成的产品报废风险。螺杆转子采用特殊耐磨防腐涂层，耐腐蚀性气体，同时可耐受工艺产生的少量粉末，适配多样化制程气体。第三，独特螺杆线型设计，在保证大抽速的同时降低能耗，相比传统干式泵，长期连续生产可以有效降低电力消耗。第四，振动与噪音控制优异，整机运行平稳，对精密镀膜、检测设备的干扰小。第五，维护结构模块化，保养时可单独拆解相关组件，更换易损件流程简单，缩短产线停机维护时间。第六，自带过载、过热、压力异常保护机制，出现工况异常时自动预警，保护泵体核心组件。

应用场景

半导体零部件制造，用于晶圆脱气、等离子工艺前处理；真空镀膜行业，光学膜、装饰膜、功能薄膜蒸镀与溅射设备的粗抽真空；新材料领域，高分子材料真空干燥、树脂脱泡；热处理行业，粉末冶金、金属工件真空退火；化工行业，溶剂回收、低腐蚀物料脱气作业；实验室大型真空系统、检漏系统配套抽真空。

使用与维护注意事项

开机前确认进气管道过滤器完好，阻挡固体粉末、异物进入泵腔，防止划伤螺杆转子；检查冷却水路或风冷散热系统，保证散热通畅，禁止在散热条件下长时间运行；针对含腐蚀性气体工况，需要配套前置气体处理装置，降低介质对泵内部的侵蚀；运行过程中留意振动、噪音与温度变化，出现异常及时停机排查；停机前按照规范执行吹扫流程，泵腔内部残留工艺气体；定期检查滤芯、密封件，按周期完成保养，不要超期使用耗材。设备存放环境保持干燥通风，避免潮湿环境造成金属部件锈蚀。

下一篇：静电雾化技术解析｜ARIMITSU有光WS300静电喷雾设备应用详解
上一篇：包装密封扭矩检测NIDEC-SHIMPO新宝TNP10瓶盖扭力测试仪