产品名称：ULVAC爱发科 罗茨泵

机械增压泵是一种可显著提高抽速的泵。

通过与油旋转真空泵或干泵等粗抽泵组合使用，在粗抽泵抽速下降的压力范围内，可以显著提高粗抽泵的抽速。

应用于半导体工艺、真空蒸馏、真空封装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞测试、太空探测、真空浸渍、真空干燥等众多领域。

通用型机械式增压泵

“Model：PRC” 是一种机械式增压泵，主要用于需要特别清洁度的半导体和液晶制造工艺。

采用封闭电机，油不会从轴封中泄漏。 也可以选择大气压驱动类型作为选项。

长处

由于无

油套管腔中没有润滑油，因此即使对水蒸气等蒸汽和溶剂也能获得稳定的性能。

屏蔽电机通过采用屏蔽电机，

我们能够消除大气/真空的机械密封。 无需担心漏油，可在清洁的环境中使用。

具有优异耐腐蚀性的

表面处理主要部件采用阳极氧化处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异，抑制了泵内部的划痕和腐蚀。 还提供可选的表面处理。

由于它可以与常压驱动型（选项：变频）

粗抽泵同时启动，从而有效地缩短了抽气时间，因此与标准型相比，可以缩短排气时间。

除了针对特殊应用的标准可选支持

外，还提供用于特殊应用的型号。

用

气相沉积、溅射、离子镀

真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

分析仪器， 泄漏测试设备

气体置换、填充、真空绝热

热处理炉、熔炼炉

其他真空设备