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  • 产品名称：EBARA荏原机械 干式真空泵

  • 产品型号：EV-S100(P/N)
  • 产品厂商：EBARA荏原机械
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EBARA荏原机械  EV-S100(P/N)  干式真空泵

EBARA荏原机械  EV-S100(P/N)  干式真空泵

搭载荏原独有的节能技术，采用适用于自动化工厂制造的模块化设计，实现进一步的小型化与节能化，是一款面向中负荷工艺的干式真空泵。
通过宽范围温度控制来扩展适用工艺范围。通过在同一机型中整合多个流程，可以减少备用设备库存优化、维护和培训，并灵活应对未来的流程扩展。此外，通过对每个工艺进行*佳的温度控制，提高耐腐蚀性，延长零件更换周期，有助于减少TCo0。
特长
通过宽范围温度控制实现广泛的工艺覆盖节能·省空间
应对腐蚀性气体(标准采用耐腐蚀材料)
适用应用示例:各种蚀刻及CVD、溅射、离子注入、外延生长等
以负载锁定室、SEM等轻负荷用途到腐蚀性工艺的广泛应用为对象，保持排气速度可变功能、通信功能等附加价值，进一步追求节能、节省空间、轻量化的独立设置用根干式泵。

特长
实现业界*高水平的节能、省空间和轻量化可选择耐腐蚀材料模型·Nz冲洗模型频率(50/60Hz)无关，保持相同性能通过完善的传感功能降低停机时间



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