产品名称：EBARA荏原机械 干式真空泵

EBARA荏原机械  EST25N  干式真空泵

EBARA荏原机械  EST25N  干式真空泵

搭载荏原独有的节能技术，采用适用于自动化工厂制造的模块化设计，实现进一步的小型化与节能化，是一款面向中负荷工艺的干式真空泵。
通过宽范围温度控制来扩展适用工艺范围。通过在同一机型中整合多个流程，可以减少备用设备库存优化、维护和培训，并灵活应对未来的流程扩展。此外，通过对每个工艺进行*佳的温度控制，提高耐腐蚀性，延长零件更换周期，有助于减少TCo0。
特长在半导体、液晶、太阳能电池片制造过程中，可应对反应副产物生成的高负荷工艺，充分满足停机时间抑制与运行成本降低的需求，是一款下一代干式真空泵。
在高负荷工艺应对与节能性这两个相互矛盾的条件下，实现了高水平的兼顾。
特长采用适用于CVD等工艺中反应副产物形成的螺旋型转子，实现增容、耐腐蚀性能、排气速度可变功能、通信功能等附加价值的独立设置型干式泵。
特长
*适合反应副产物形成过程(保持泵内气体温度高温)
实现大排气速度·允许大进气量
配备旋转速度自动控制功能(适应流入气体流量)
应对腐蚀性气体
(标准采用耐腐蚀材料)
高性能通信机能搭载
采用泵高度控制方式(数据保持功能·报警历史细分)
应对度蚀性气体(标准采用耐蚀材料)