产品名称：ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵

• ULVAC爱发科  螺杆式干式真空泵  MS1200A

特色

• 通过对转子轴和汽缸等主要部件施加特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。
• ULVAC独特的螺旋式转子轴设计实现了高粉末排放效率。
• 从大气压到达到压力的整个压力范围内，均可实现连续运行。

用途

• 用于电子元件和半导体制造设备、
  蚀刻设备、灰烬设备、等离子体清洗设备等的真空排气系统。
• 真空热处理炉
  的真空排气系统、烧结炉、渗碳炉等。
• 锂电池制造设备、
  电极干燥设备、消泡设备、液体注入设备等的真空排气系统。
• 用于医疗和食品相关设备的真空排气系统，冻干设备、真空干燥设备等。
• ULVAC爱发科  螺杆式干式真空泵  MS1200A
  

• 规格

  模型		MS120A	MS600A	MS1200A
  *大排气转速 *1	m3/h	115	560	980
  达到压力	爸	≦0.6	≦0.1
  供电电压		三相，50/60Hz，交流电200-240V±10%或三相，50/60Hz，交流380-480V±10%
  近似功耗 *2	千瓦	2.4	3.1	3.1
  冷却水体积	L/min	>4.0
  净化气体体积 *1	SLM	0~50
  *大水蒸气通量 *1*3	公斤/小时	1.5
  噪声值 *2	dB（A）	61	62	64
  进气口		KF50（水平）/ VG50（垂直）	ISO-F-80	ISO-F-100
  排气口		KF40
  质量*4	KG	139	241	264
  贴合规格		CE、cTUVus
  标准配件		快速说明书，电源连接器，防水线夹，信号连接器，电源连接器保护罩，1个专用消音器
  车身选项		电源电压：200V级或400V级 密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟弹性体（FFKM）
  外部选项		外壳排气口、抗震装置、兼容LR单元（进气口、信号）、净化气体阀

  *1：典型值
  *2：达到压力时
  *3：这是使用净化气体时处理的*大水蒸气量。
  *4：包括消音器