Name: ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵
Brand: ULVAC爱发科
SKU: LS600A

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ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵 LS600A

C 规格：清洁工艺（LS***A-C）
特点：低功耗类型，内置生态冲击
应用：用于清洁排气，如空气排气和_氮气，溅射/沉积/粘结/负载锁室/TMP辅助等。

L 规格：光过程（LS***A-L）
特点：具表面处理和净化功能的
光工艺类型应用：适用于水蒸气和挥发性化学液体蒸发、真空干燥、冻结干燥、灰化、一般工业应用等光工艺。

ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵 LS600A

规格

模型	（C：C 规范）（ L：L 规范）		LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
			C	L	C	L	C	L	C	L
*大泵送速度		m³/h	120		380		600		1000
达到压力		爸	≦0.6		≦0.1
电源压力			200V级：三相，50/60Hz，交流200-240V或400V级：三相，50/60Hz，交流380-480V
功耗大纲 *1		千瓦	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷却水体积		L/min	> 2.0		> 4.0
驳船气体体积 *2		SLM	ー	0~50	ー	0~50	ー	0~50	ー	0~50
大水蒸气处理能力 3		公斤/小时	ー	1.5	ー	1.5	ー	1.5	ー	1.5
噪声值		dB（A）	61		61		62		64
进气口			KF（水平）/ VG50（垂直）		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排气口			KF40
质量		KG	142		220		242		266
贴合规格			CE、cTUVus
标准配件			说明书（CD-R）、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器护罩
车身选项			电压规格：200V级或400V级，密封材料：全氟弹性体（仅L型）
外部选项			MBP空气进气转换法兰、外壳排气口、抗震紧固件、LR兼容单元（进气口、信号）、净化气体阀

*1 在峰值压力下
*2 C规范不能流动驳船气体。
*3 这是使用驳船气体时处理的*大水蒸气量。
*4 C 规范并非防泄漏。

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产品名称：ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵

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