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产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科 机械助力泵

  • 产品型号:PRC-003A
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
详情介绍:

ULVAC爱发科 机械助力泵 PRC-003A

“型号:PRC”是一种机械助力泵,设计用于半导体和液晶制造工艺,要求清洁性。
使用罐装发动机,不会发生轴密封漏油。 可选配置大气压力驱动。

特色

  • 由于无油
    套管腔内无润滑油,即使对水蒸气和溶剂等蒸汽也能保持稳定性能。
  • 罐装发动机的采用
    通过使用罐装电机,可以消除大气/真空的机械密封。 无需担心漏油,且可在清洁环境中使用。
  • 表面处理
    具有优异的耐腐蚀性 主要部件经过阳极处理,表面硬度高且耐腐蚀性优异,以减少泵内的划痕和腐蚀。 可选配,无需表面处理。
  • 大气压驱动(可选:变频器)有效缩短泵送时间,
    可与粗水泵同时启动,因此泵送时间比标准泵更短。
  • 除了针对特殊应用的可选
    标准外,也提供针对特殊应用的模型。
使用场景 类型(类型) 适用模型 表面处理 石油
空气和惰性气体排气
表面处理可增强对异物的抵抗强度
标准 PRC-003A、PRC-006A、
PRC-012A、PRC-018A
〇*1 R-42
矿物油
空气和惰性气体排气 当你想减少因
水分吸附引起的距离压力影响时
X PRC-003A-X,PRC-006A-X,PRC-012A-X,PRC-018A-X
✖ R-42
矿物油
通过腐蚀性、易燃性和氧化性气体进行油品劣化处理
,表面处理可增强对异物的抵抗强度
F PRC-003A-F,PRC-006A-F,PRC-012A-F,PRC-018A-F
〇 J25F *2
氟油

*1 表面处理时,因水分吸附产生的排放气体可能影响排气时间。
*2 使用氟油进行组装检查,但不含。 如有必要,将单独安排。

ULVAC爱发科 机械助力泵 PRC-003A

用途

  • 沉积、溅射、离子镀层
  • 真空干燥、冻干、真空脱气
  • 分析仪器,泄漏检测设备
  • 气体排量、填充、真空绝缘
  • 热处理炉,熔炉
  • 其他真空设备

规格

型号*1 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
*大泵送速度 50Hz 280米3/h
(4670 L/min)
500米3/h
(8330 L/min)
1000米3/h
(16700 L/min)
1500米3 /h
(25000 L/min)
60Hz 330米3/h
(5500 L/min)
600米3/h
(10000 L/min)
1200米3/h
(20000 L/min)
1800米3/h
(30000 L/min)
*大入口压力 50Hz 1.2 x 103 爸 1.3 x 103 爸 1.2 x 103 爸
60Hz 9.3 x 102 爸 1.1 x 103 爸 9.3 x 102 爸
*大允许压力差 50Hz 4.0 x 103 爸 7.3 x 103 爸 4.3 x 103 爸
60Hz 3.3 x 103 爸 6.0 x 103 爸 3.2 x 103 爸
达到压力 *2 4.0 x 10-1 爸 6.7 x 10-1 爸
可驱动压力 ~1.0 x 105 PA(大气压力驱动)
电机 *3 形式 罐装式三相感应电机
高效级 ー
功率输出 0.75千瓦(2极) 2.2千瓦(2极) 3.7千瓦(2极) 5.5千瓦(2极)
电压
(200伏级电动机)
50Hz 200 伏
60Hz 200/220 V
所用机油 *4 ULVOIL R-42/SMR-100
所需燃料 0.7升 1.5升 1.9升
冷却方法 水冷
冷却水 主侧压力 0.3 MPA
入口和出口的压力差 0.01 MPA及以上
冷却水体积 2升/分钟 3升/分钟
冷却水温度 *5 5 ~ 30 °C
进气口径 JIS-B-2290 VG80 等效设备 VG100 对应 VG150等效
排气口径 JIS-B-2290 VF80 等效设备 VF100 的等效设备
尺寸 W×D×H *6 296×575×260毫米 356×619×320毫米 406×759×340毫米 406×989×340毫米
质量 51公斤 86公斤 118公斤 150公斤
标准辅助泵 VD60C VD90C
VS2401
VS2401
标准配件 1本说明书,1本机油





高斯摩代理品牌:EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科
优势品牌:USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
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MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
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RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
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