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高斯摩产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION
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- VIBRA新光
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- LINTEC琳得科
- NISSIN 日伸理化
- Nichiryo 立洋
- IMV艾目微
- HEIDON新东科学
- AND艾安得
- NPM电机
- CKD
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- Yokogawa 横河
- SMC/日本
- 山武 azbil
- NPM日本脉冲
- 住友化学
- THOMAS托马斯科学仪器
- SAKAGUCHI坂口电热
- OHKURA大仓
- suiden瑞电
- AMANO安满能
- EYE岩崎
- KRK笠原理化
- MEIJI明治
- 大阪大友 OSAKA-TAIY...
- TOSEI东精
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- KYOWA共和
- CCS晰写速
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- SUGAWARA 菅原
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- SUGIYAMA杉山电机
- NIDEC尼得科
- ADVANTEC东洋
- KETT凯特
- HORIBA堀场
- DKK-TOA东亚电波
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- NARISHIGE成茂
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- 德国DRUSEIDT
- NITTO KOHKI日东工器
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- 意大利ARTEC
- FUSOSEIKI扶桑精机
- MICROSTONE微石
- MISAKA米卡萨
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- DIT东日技研
- LEPTRINO莱普利诺
- KASHIYAMA樫山工业
- THINKY新基
- FUJIWARA藤原
- TEITSU帝通电子
- 德国IPF
- 瑞士CONTRINEX
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- KOTOHIRA琴平
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- ANALYZER**热研
- 德国JOKARI
- YAMABISHI山菱电机
- 德国MICROSONIC
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- NAGANO长野计器
- SATOVAC佐藤
- ADCMT爱德万
- Koshin工进精工
- 德国AUTOSEN
- NS精密科学
- MUSASHI武藏
- POLARION普拉瑞
- KYOWA协和
- SAGADEN嵯峨电机
- EMIC爱美克
- YAMAMOTO-MS山本镀金
- 德国MICRONORM
- COSMOS新宇宙
- REVOX莱宝克斯
- TSUTSUI筒井理化学
- MINORU SANGYO美浓...
- KASUGA春日电机
- SANKO山高
- KUBOTA久保田
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- NIPPON GEAR日本齿轮
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- YAZAWA矢泽科学
- OTAKE大竹
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- SIMCO思美高
- 德国EGE-ELEKTRONI...
- WATSON深江化成
- Osaka Vacuum大阪真...
- NDK电色
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- KYORITSU共立机巧
- 意大利RACFLUID
- 意大利多利拿TOGNELLA
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- USHIO牛尾
- ONO SOKKI/小野测器
- COSIMO科斯莫
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- EIKOSOKKI
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- S-SHIN伸榮産業
- TOKISANGYO东机产业
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- 法国SES-STERLING
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- TAKAMORI高森
- HONDA本多电子
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- FUNATECH船越龙
- NICHIRI日理
- TORAY东丽
- SEKONIC世光
- ITOH 伊藤电机
ULVAC爱发科 机械助力泵 PRC-003A
“型号:PRC”是一种机械助力泵,设计用于半导体和液晶制造工艺,要求清洁性。
使用罐装发动机,不会发生轴密封漏油。 可选配置大气压力驱动。
特色
-
由于无油
套管腔内无润滑油,即使对水蒸气和溶剂等蒸汽也能保持稳定性能。 -
罐装发动机的采用
通过使用罐装电机,可以消除大气/真空的机械密封。 无需担心漏油,且可在清洁环境中使用。 -
表面处理
具有优异的耐腐蚀性 主要部件经过阳极处理,表面硬度高且耐腐蚀性优异,以减少泵内的划痕和腐蚀。 可选配,无需表面处理。 -
大气压驱动(可选:变频器)有效缩短泵送时间,
可与粗水泵同时启动,因此泵送时间比标准泵更短。 -
除了针对特殊应用的可选
标准外,也提供针对特殊应用的模型。
| 使用场景 | 类型(类型) | 适用模型 | 表面处理 | 石油 |
|
空气和惰性气体排气 表面处理可增强对异物的抵抗强度 |
标准 |
PRC-003A、PRC-006A、 PRC-012A、PRC-018A |
〇*1 |
R-42 矿物油 |
|
空气和惰性气体排气 当你想减少因 水分吸附引起的距离压力影响时 |
X |
PRC-003A-X,PRC-006A-X,PRC-012A-X,PRC-018A-X |
✖ |
R-42 矿物油 |
|
通过腐蚀性、易燃性和氧化性气体进行油品劣化处理 ,表面处理可增强对异物的抵抗强度 |
F |
PRC-003A-F,PRC-006A-F,PRC-012A-F,PRC-018A-F |
〇 |
J25F *2 氟油 |
*1 表面处理时,因水分吸附产生的排放气体可能影响排气时间。
*2 使用氟油进行组装检查,但不含。 如有必要,将单独安排。
用途
- 沉积、溅射、离子镀层
- 真空干燥、冻干、真空脱气
- 分析仪器,泄漏检测设备
- 气体排量、填充、真空绝缘
- 热处理炉,熔炉
- 其他真空设备
规格
| 型号*1 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | ||
| *大泵送速度 | 50Hz |
280米3/h (4670 L/min) |
500米3/h (8330 L/min) |
1000米3/h (16700 L/min) |
1500米3 /h (25000 L/min) |
|
| 60Hz |
330米3/h (5500 L/min) |
600米3/h (10000 L/min) |
1200米3/h (20000 L/min) |
1800米3/h (30000 L/min) |
||
| *大入口压力 | 50Hz | 1.2 x 103 爸 | 1.3 x 103 爸 | 1.2 x 103 爸 | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 爸 | 1.1 x 103 爸 | 9.3 x 102 爸 | |||
| *大允许压力差 | 50Hz | 4.0 x 103 爸 | 7.3 x 103 爸 | 4.3 x 103 爸 | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 爸 | 6.0 x 103 爸 | 3.2 x 103 爸 | |||
| 达到压力 *2 | 4.0 x 10-1 爸 | 6.7 x 10-1 爸 | ||||
| 可驱动压力 | ~1.0 x 105 PA(大气压力驱动) | |||||
| 电机 *3 | 形式 | 罐装式三相感应电机 | ||||
| 高效级 | ー | |||||
| 功率输出 | 0.75千瓦(2极) | 2.2千瓦(2极) | 3.7千瓦(2极) | 5.5千瓦(2极) | ||
|
电压 (200伏级电动机) |
50Hz | 200 伏 | ||||
| 60Hz | 200/220 V | |||||
| 所用机油 *4 | ULVOIL R-42/SMR-100 | |||||
| 所需燃料 | 0.7升 | 1.5升 | 1.9升 | |||
| 冷却方法 | 水冷 | |||||
| 冷却水 | 主侧压力 | 0.3 MPA | ||||
| 入口和出口的压力差 | 0.01 MPA及以上 | |||||
| 冷却水体积 | 2升/分钟 | 3升/分钟 | ||||
| 冷却水温度 *5 | 5 ~ 30 °C | |||||
| 进气口径 JIS-B-2290 | VG80 等效设备 | VG100 对应 | VG150等效 | |||
| 排气口径 JIS-B-2290 | VF80 等效设备 | VF100 的等效设备 | ||||
| 尺寸 W×D×H *6 | 296×575×260毫米 | 356×619×320毫米 | 406×759×340毫米 | 406×989×340毫米 | ||
| 质量 | 51公斤 | 86公斤 | 118公斤 | 150公斤 | ||
| 标准辅助泵 | VD60C | VD90C |
VS2401
|
VS2401 | ||
| 标准配件 | 1本说明书,1本机油 | |||||
高斯摩代理品牌:EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科
优势品牌:USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野 、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计,恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪,接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌:EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科
优势品牌:USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野 、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计,恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪,接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置