产品名称：HORIBA 堀场 蒸汽浓度监测仪

HORIBA 堀场 蒸汽浓度监测仪  IR-322M

HORIBA 堀场 蒸汽浓度监测仪  IR-322M

设备规格

IR-322M 采用一体化紧凑型结构，整体规格为 124×50.8×135mm（不含突出部件），重量约 1.6–1.9kg，安装方向无限制，可灵活嵌入机台或机柜内部，适配多种产线布局需求。设备壳体与接气通路均采用 SUS316L 不锈钢材质，气室光学窗口选用蓝宝石基材搭配银、铜、钛、镍等耐腐金属镀层，可耐受 TMIn、TEGa、TMAl 等多种腐蚀性前驱体介质。密封泄漏率≤5×10⁻¹²Pa・m³/s（He），满足高真空制程的严苛密封要求。工作电源支持 DC24V±10%/18W 或 ±15VDC/6W，适配工业标准供电体系；气体流量适配 50–1000SCCM，工作压力范围 30–300kPa（A），可匹配 MOCVD 鼓泡法供料的常规工况。通讯配置包含模拟量、RS-485 及 DeviceNet™接口，可无缝接入工业控制系统，实现双路数据同步上传与远程监控。

核心技术特点

该设备基于非分散红外吸收法（NDIR）测量原理，采用双路独立气室设计（每路 25mm 光程），可同步检测两路气体或双量程切换，检测效率提升 1 倍，适配 1–5vol% 浓度前驱体监测需求。每路均采用双光束差分光学结构，通过红外光源发射特定波长光线，经样品气室与参考气室对比检测，精准解析蒸汽浓度数据，测量重复性≤±0.4% 满量程，长期运行稳定性强。搭载双高光强长寿命光源与高速数字信号处理单元，响应速度快、并行处理能力强，可实时捕捉两路蒸汽浓度的细微波动，及时反馈制程变化。支持多重校准曲线功能，每路*多可存储 3 种化学品或不同量程的校准参数，切换测量对象时无需重新校准，适配多品类前驱体测量需求。机身顶部集成双通道显示界面与状态指示灯，可现场直观查看两路浓度数值、供应管线状态及设备运行参数，简化现场巡检流程。内部光学元件无易损耗材，光源使用寿命长，日常维护仅需定期检查气室清洁度，无需频繁拆解校准，有效降低长期运维工作量。

主要应用范围

IR-322M 主要应用于半导体行业 MOCVD 制程，聚焦 LED、先进光学器件、第三代半导体材料及功率器件制造环节，特别适配 TMIn、TEGa、TMAl 等金属有机前驱体的鼓泡法供料管线，实施双路同步在线浓度监测。通过双路并行高精度检测，可同时把控两路前驱体的供料稳定性，辅助优化制程温度、压力及载气流量等关键参数，减少因浓度波动引发的薄膜沉积不均、器件性能差异等问题，提升产品良率与制程一致性。可实时监测两路前驱体消耗进度，预判鼓泡器更换节点，避免非计划停机，同时减少高价值化学品的过度损耗，降低生产成本。适配刻蚀、沉积等多种干式制程的前驱体供应系统，可灵活集成至新建**产线或改造现有老旧设备，为先进半导体制造的制程精细化管控与数据全追溯提供可靠支撑。