产品名称：HORIBA 堀场 化学浓度分析仪

HORIBA 堀场 化学浓度分析仪 CS-620F

HORIBA 堀场 化学浓度分析仪 CS-620F

规格参数

设备采用紫外 - 可见吸收光谱法作为测量原理，主打高温磷酸专项检测，可测量质量分数*高 92% 的磷酸溶液，支持 140 至 170℃药液直接检测，无需额外冷却装置。数据更新间隔为 3 秒，所有接液部位均采用 PFA 材质打造。监视器本体尺寸 200×308×78mm，光源单元尺寸 200×262×100mm，样品池尺寸 240×209×205mm；监视器重量 3.6kg，光源重量 2.8kg，样品池重量 3.0kg。设备适配 100–230V 交流电源，频率 50/60Hz，功耗约 85VA，搭载 RS-232C、4–20mA 模拟输出以及并行 I/O 接口，标配 5 米长度光纤，光纤小弯曲半径为 R150mm。

核心性能特点

设备可直接测量 170℃高温、92% 高浓度磷酸，无需搭配冷却系统，有效节约能耗与安装空间。所有接液部件选用 PFA 材质，耐强酸腐蚀，同时杜绝金属离子析出，符合半导体高纯生产标准。搭配温度与气泡补偿算法，即便工况存在波动，依旧可以保障检测精度，3 秒的数据更新速度能够满足工艺实时调控需求。设备仅需每半年开展一次背景校正，LED 光源使用寿命长久，整体维护频次低，减少生产停机时长。光源与监测单元分体设计，依托光纤实现信号传输，布线距离长，可灵活适配设备内部狭小区域，安装布局不受限制。

主要应用用途

主要应用于 3D NAND 闪存制造领域，针对氮化硅层高温磷酸刻蚀工序进行浓度监测，精准把控药液参数，稳定刻蚀效率，提升产品良率。广泛用于半导体湿法工艺里的高温磷酸循环管路在线检测，取代传统离线取样方式，实现全过程实时质量管控。同时也可应用于电子化工、精密制造等行业，完成各类高温高浓度磷酸药液的浓度监测与生产过程控制。