产品名称：ULVAC 爱发科 低温均热型干泵

ULVAC 爱发科 低温均热型干泵 Model:LR Model:LR

ULVAC 爱发科 低温均热型干泵 Model:LR Model:LR

ULVAC Model:LR 系列覆盖 LR60、LR90、LR180、LR421、LR421-T 多款标准机型，同时拓展 LR1800、LR3601-R 大抽速旗舰型号，全系列 50Hz 工况抽速区间 62 至 1800m³/h，60Hz 工况可进一步提升排气效率，极限真空稳定维持 5Pa 以内，匹配不同尺寸镀膜腔体、装卸锁仓排气需求。整机统一采用三相工业交流供电，兼容 AC200-240V、AC380-480V 通用电压制式，适配国内外自动化产线供电体系。吸气端口提供 KF 快拆法兰、ISO-F 大口径法兰两类标准接口，排气端统一配套通用 KF 法兰，便于对接尾气处理管路。全系搭载水冷循环温控系统，冷却水流量随机型抽速梯度匹配，可稳定控制泵体工作温度区间。设备运行噪音经过腔体气流结构优化，适配洁净厂房低噪作业环境；可配套 ECO-SHOCK 节能控制组件、氮气吹扫组件、远程信号采集模块等标准化选配配件，整机自重按照抽速分级设计，匹配机房设备承重布局，内置超温、过载、压力异常多维度传感监测单元。

Model:LR 采用多级罗茨干式无油啮合结构，泵腔内部不添加润滑介质，从源头规避油雾返流污染工艺腔体，满足薄膜制造高洁净度标准。设备核心搭载品牌自研低温区间全域均热架构，依托泵体运转自生热量实现内腔温度均匀分布，适配 PVD 物相沉积、晶圆装卸锁仓循环排气工况，避免工艺微量副产物低温凝结附着，同步缩短腔体抽真空时长，压缩产线生产节拍。转子、气缸等过流核心部件采用高硬度特种表面防腐处理工艺，能够耐受低浓度弱腐蚀工艺气体长期冲刷，延缓部件损耗。驱动端配备屏蔽式氦密封一体化电机，全密闭结构阻隔工艺介质向内渗透，提升设备运行**系数；内置 1000 毫秒以内断电瞬停防护架构，短时断电工况可阻断腔体内压力倒灌，保护上游工艺设备。整机预留标准化通讯接口，可实时采集腔体温度、真空压力、电机运行电流、故障报警等运行数据，完整存储设备全周期运行履历；分体模块化布局拆分冷却、传动、密封独立单元，常规检修无需整机拆解，简化日常运维操作流程。

Model:LR 定向适配以快速循环排气为核心需求的洁净真空制程，核心适配薄膜沉积类设备配套使用。半导体与平板显示制造领域，主要配套溅射、热蒸镀等 PVD 成膜设备，作为晶圆、基板装卸锁仓专用预抽真空泵，大抽速特性可快速完成腔体换气，缩短单次生产循环时长，提升产线整体吞吐量。同时可作为涡轮分子泵、机械增压泵配套前级辅助真空单元，稳定提供中低真空环境，保障高精度薄膜沉积工序真空环境均匀性。光学元器件镀膜、装饰膜层蒸镀产线同样可匹配该系列设备，无油输出特性防止膜层产生杂质缺陷。设备适配含微量有机挥发物、低腐蚀性气相介质的工艺场景，低温均热腔体可减少副产物凝结堆积；标准化法兰与通讯接口可无缝对接全自动工艺设备真空管路，适配新建真空产线搭建、老旧真空机组改造替换，全域连续运行能力适配 24 小时不间断批量生产作业。