产品名称：ULVAC 爱发科 紧凑型干泵洁净多级

ULVAC 爱发科 紧凑型干泵洁净多级 Model:CR Model:CR

ULVAC 爱发科 紧凑型干泵洁净多级 Model:CR Model:CR

ULVAC Model:CR 系列包含 CR30A、CR60A 两款基础机型，50Hz 工况抽速分别为 30m³/h、62m³/h，60Hz 工况下排气速度同步提升，额定极限真空稳定控制在 5Pa，适配小型腔体快速预抽需求。整机采用小型三相感应电机驱动，功率梯度匹配机型为 1.5kW 与 2.2kW，供电兼容 AC200-240V 单相三相通用电压，可适配实验室设备、小型自动化产线供电体系。吸气端口统一配置 KF40 小型标准法兰，排气端采用 KF25 接口，管路占用空间更小，便于紧凑设备集成。整机搭载一体式风冷散热结构，无需配套冷却水循环装置，减少外围管路布设成本与安装空间。设备整机重量远大于同抽速水冷机型，机身预留多组安装固定点位，支持立式、卧式两种摆放安装形态，适配机柜内置、设备侧边集成等布局方案。机身集成基础温度、真空压力传感组件，实时反馈设备运行状态，无需额外加装监测辅件，运行噪音经过风道优化，适配实验室、洁净小型车间低噪音作业环境。

Model:CR 采用两级多级罗茨干式无油啮合结构，泵腔内部不使用润滑油介质，从源头避免油雾返流污染小型工艺腔体，满足实验室精密制程洁净标准。整机采用一体化紧凑机身成型工艺，缩减整机长宽高外部尺寸，解决小型真空设备配套泵体占地过大的问题。罗茨转子经过高精度动平衡校正处理，整机运行振动幅度更低，可直接集成安装在检测、镀膜精密设备机身侧边，不会干扰工件测量与薄膜成膜精度。设备搭载一体式静音风道腔体，气流压缩噪音被内部消音结构吸收，相比同规格通用干泵噪声数值明显降低。整机采用自主风冷循环散热架构，依靠机身散热风扇带走气体压缩产生的热量，省去水冷管路、冷却水塔、循环水泵等配套辅材，降低整套真空系统布设复杂度。腔体进气端内置独立防回流保护阀，设备停机瞬间自动闭合，阻断腔体内部气体、介质回流至泵腔，避免转子与腔体内壁被工艺介质附着污染。整机采用简易模块化布局，密封组件、风扇单元可独立拆装更换，无需拆解整机即可完成常规维护操作。