产品名称：TK 富士金 S32ABV大口径L型手动高纯隔膜阀

TK 富士金 S32ABV大口径L型手动高纯隔膜阀

TK 富士金 S32ABV大口径L型手动高纯隔膜阀

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一、材质与基础规格

阀体：316L 不锈钢，EP 电解抛光隔膜片：PFA驱动方式：手动操作流道形式：L 型角式（TW）接口规格：X1，焊接 / 卡套可选后缀 P：高纯清洗，洁净真空包装适用流体：超纯水、高纯酸碱药液、惰性工艺气体不适用：强有机溶剂、浓强碱

二、性能参数

*高使用压力：3.5MPa工作温度：0～80℃氦检漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s内壁粗糙度 Ra≤0.25μm流道：L 型超大口径低死体积大流道，Cv 流量系数高，满足主干管路大流量转向输送

三、产品特点

1. TW L 角式超大流道，管路转向布置，省去额外弯头，减少接头泄漏点位，适配产线主干管路。

2. PFA 隔膜片，耐酸碱腐蚀，介质不接触金属，抑制金属离子析出。

3. 316L EP 抛光阀体，内壁光滑，降低微粒产生，满足 UHP 超纯流体严苛要求。

4. 手动操作结构稳定可靠，无需配置先导气源，适合主管路检修、取样、隔离支路。

5. 出厂超纯水清洗、洁净包装，洁净室可直接装配。

四、应用领域

半导体晶圆制程、液晶面板、光伏电池产线超大流量超纯水、高纯化学品主干管路转向隔离，实验室大流量超高纯流体管路。

五、注意事项

1. 开关操作平缓，禁止蛮力拧动手柄，防止 PFA 隔膜受损引发内漏。

2. 安装前管路吹扫洁净，硬质颗粒会划伤隔膜。

3. 介质温度、压力严禁超过额定范围，高温缩短隔膜使用寿命。

4. 该阀仅用作通断开关，不可作为流量调节阀使用。

5. 拆装作业在洁净环境下操作，佩戴无尘手套，禁止触碰阀内流道。