产品名称：TK富士金S4BMVS-VM-X1-P紧凑高纯气动隔膜阀

TK富士金S4BMVS-VM-X1-P紧凑高纯气动隔膜阀

TK富士金S4BMVS-VM-X1-P紧凑高纯气动隔膜阀

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一、材质与基础规格

阀体：316L 不锈钢，EP 电解抛光隔膜片：PFA驱动方式：气动先导式流道形式：直通型接口规格：X1，焊接 / 卡套可选后缀 P：高纯清洗，洁净真空包装适用流体：超纯水、高纯酸碱药液、惰性工艺气体不适用：强有机溶剂、浓强碱

二、性能参数

*高使用压力：3.5MPa工作温度：0～80℃先导驱动气源：干燥无油氮气 / 压缩空气，0.4~0.7MPa氦检漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s内壁粗糙度 Ra≤0.25μm流道：直通低死体积结构，减少流体滞留

三、产品特点

1. 紧凑型直通阀体，体积小巧，适配半导体设备高密度集成管路。

2. PFA 隔膜片，耐酸碱腐蚀，介质不接触金属，抑制金属离子析出。

3. 316L EP 抛光阀体，内壁光滑，降低微粒产生，满足 UHP 超纯流体要求。

4. VM 先导执行机构，结构紧凑，启闭响应稳定，适配自动化制程远程开关控制。

5. 出厂超纯水清洗、洁净包装，洁净室可直接装配。

四、应用领域

半导体晶圆制程、液晶面板、光伏电池产线设备狭小空间内的超纯水与高纯化学品支路管路，实验室超高纯流体系统。

五、注意事项

1. 先导气源必须干燥无油，油雾、水分会加速 PFA 隔膜老化，造成动作失效。

2. 安装前管路吹扫洁净，硬质颗粒会划伤隔膜引发内漏。

3. 介质温度、压力严禁超过额定范围，高温缩短隔膜使用寿命。

4. 该阀仅用作通断开关，不可作为流量调节阀使用。

5. 拆装作业在洁净环境下操作，佩戴无尘手套，禁止触碰阀内流道。