产品名称：TK富士金S4HDV3三通耐久气动金属隔膜阀

TK富士金S4HDV3三通高耐久气动金属隔膜阀

TK富士金S4HDV3三通高耐久气动金属隔膜阀

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一、材质与基础规格

阀体：316L VAR 不锈钢，EP 电解抛光隔膜片：NCF718 镍钴合金金属隔膜阀座：PCTFE驱动方式：气动先导式流道形式：T 型三通流道（12T3）接口规格：X1，焊接 / 卡套可选后缀 P：高纯清洗，洁净真空包装适用流体：高纯工艺气体、特种腐蚀药液、超纯水不适用：强有机溶剂

二、性能参数

*高使用压力：1.0MPa工作温度：-10～80℃先导驱动气源：干燥无油氮气 / 压缩空气，0.4~0.6MPa氦检漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s内壁粗糙度 Ra≤0.25μm流道：T 型三通低死体积结构，减少流体滞留，实现管路切换

三、产品特点

1. 12T3 T 型三通流道，单阀完成三路管路通断切换，减少接头数量，降低泄漏点位，节省设备内部配管空间。

2. NCF718 金属隔膜，抗疲劳性能优异，高频启闭循环寿命远优于 PFA 隔膜，适配连续循环制程。

3. 316L VAR EP 锻造阀体，金属离子析出极低，微粒控制满足晶圆制造 UHP 严苛要求。

4. VM 先导执行机构，结构紧凑，启闭响应稳定，适配自动化制程远程流体切换控制。

5. 出厂超纯水清洗、双层洁净真空包装，洁净室可直接装配。

四、应用领域

半导体刻蚀、薄膜沉积、扩散等高循环工艺气体取样与管路切换支路，特种高纯化学品分配管路，光伏与面板 UHP 流体三通切换系统。

五、注意事项

1. 先导气源必须干燥无油，油雾、水分会造成执行机构动作异常。

2. 安装前管路充分吹扫，硬质颗粒会损伤 PCTFE 阀座与金属隔膜，引发内漏。

3. 介质温度、压力严禁超过额定范围，高温会加速阀座老化。

4. 该阀用作流体通断切换，不可作为流量调节阀使用。

5. 拆装作业在洁净环境下操作，佩戴无尘手套，禁止触碰阀内流道。