产品名称：TK富士金S16TW-HFBDV大口径L耐久气动隔膜阀

TK富士金S16TW-HFBDV大口径L耐久气动隔膜阀

TK富士金S16TW-HFBDV大口径L耐久气动隔膜阀

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一、材质与基础规格

阀体：316L VAR 不锈钢，EP 电解抛光隔膜片：NCF718 镍钴合金金属隔膜阀座：HC 耐特种介质密封材质驱动方式：PVM 气动先导式流道形式：L 型角式（8TW）接口规格：X1，焊接 / 卡套可选后缀 P：高纯清洗，洁净真空包装适用流体：高纯工艺气体、特种腐蚀药液、超纯水不适用：强有机溶剂

二、性能参数

*高使用压力：1.0MPa工作温度：-10～80℃先导驱动气源：干燥无油氮气 / 压缩空气，0.4~0.6MPa氦检漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s内壁粗糙度 Ra≤0.25μm流道：L 型超大口径低死体积流道，通流 Cv 值高，适配主管路大流量转向配管

三、产品特点

1. 8TW 大口径 L 角式流道，管路转向布置，减少弯头与泄漏点，适配设备柜内主管路紧凑配管。

2. NCF718 金属隔膜，抗疲劳性能优异，高频循环启闭寿命远高于 PFA 隔膜，适合连续制程工况。

3. 316L VAR EP 锻造阀体，金属离子析出极低，微粒控制满足晶圆制造 UHP 严苛要求。

4. HC 专用阀座选配，提升对强腐蚀特种工艺介质耐受能力，长期密封稳定性强。

5. PVM 先导执行机构，输出推力大，满足超大口径阀体启闭需求，适配自动化远程控制。

6. 出厂超纯水清洗、双层洁净真空包装，洁净室可直接装配。

四、应用领域

半导体刻蚀、薄膜沉积、扩散工艺大流量工艺气体主管路，特种高纯化学品输送主干管路，光伏与面板 UHP 超大流量流体转向管路。

五、注意事项

1. 先导气源必须干燥无油，油雾、水分会造成 PVM 执行机构动作卡顿失效。

2. 安装前管路充分吹扫，硬质颗粒会损伤 HC 阀座与金属隔膜，引发内漏。

3. 介质温度、压力严禁超过额定范围，高温会加速阀座老化。

4. 该阀仅用作通断开关，不可作为流量调节阀使用。

5. 拆装作业在洁净环境下操作，佩戴无尘手套，禁止触碰阀内流道。