产品名称：TK 富士金 S8HFDV耐久高纯气动金属隔膜阀

TK 富士金 S8HFDV耐久高纯气动金属隔膜阀

TK 富士金 S8HFDV耐久高纯气动金属隔膜阀

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一、材质与基础规格

阀体：316L VAR 不锈钢，EP 电解抛光隔膜片：NCF718 镍钴合金金属隔膜阀座：PVF 材质驱动方式：气动先导式流道形式：直通大口径接口规格：X1，焊接 / 卡套可选后缀 P：高纯清洗，洁净真空包装适用流体：高纯工艺气体、特种腐蚀药液、超纯水不适用：强有机溶剂

二、性能参数

*高使用压力：1.0MPa工作温度：-10～80℃先导驱动气源：干燥无油氮气 / 压缩空气，0.4~0.6MPa氦检漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s内壁粗糙度 Ra≤0.25μm流道：直通低死体积大流道，兼顾大流量与低滞留

三、产品特点

1. 金属隔膜结构，开关循环耐久次数远高于 PFA 隔膜，适配半导体高频循环工艺。

2. 316L VAR EP 锻造阀体，金属离子析出极低，微粒控制满足严苛晶圆制程。

3. PVF 阀座选配，提升耐特种介质腐蚀性能，密封稳定性强。

4. P2 版本 VM 先导执行机构，推力充足，大口径阀体启闭响应稳定，适配自动化远程控制。

5. 出厂超纯水清洗、双层洁净包装，可直接在洁净室装配。

四、应用领域

半导体刻蚀、沉积、扩散等高循环工艺气体管路，特种高纯化学品输送系统，光伏与面板 UHP 流体主管路。

五、注意事项

1. 先导气源必须干燥无油，油雾、水分会造成执行机构动作异常。

2. 安装前管路充分吹扫，硬质颗粒会损伤 PVF 阀座与金属隔膜，引发内漏。

3. 介质温度、压力严禁超过额定范围，高温会加速阀座老化。

4. 该阀仅用作通断开关，不可作为流量调节阀使用。

5. 拆装作业在洁净环境下操作，佩戴无尘手套，禁止触碰阀内流道。