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多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。
在 FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 常见的泵之一是罗茨干式真空泵。
干式真空泵“型号:CR VerB”是一款已获得国际标准(CE、cTUVus)的风冷罗茨型干式真空泵。
排气室不使用油,转子和气缸以非接触方式运行,可以长时间稳定运行。
长处
排气室是非接触式的,不使用油,因此可以长时间稳定排气。
由于不需要冷却水和氮气,因此有助于降低运行成本。
配备直流屏蔽电机,节能、密闭、轻量化。
气镇机构可实现蒸汽排放。
标准:CE、cTUVus
用
真空排气清洁气体,如空气和惰性气体
真空干燥等水蒸气排放(必须使用气镇)
用于溅射、气相沉积等的真空设备。
型 | CR16B 系列 | CR30B 型 | CR60B-S 系列 | CR60B-T 型 | CR300B 系列 | |
大抽速 | m3/小时 | 16 | 30 | 55 | 300 | |
升/分钟 | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
极限压力 1 | 帕 | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
大入口压力 |
|
气压 | ||||
大排气口压力 |
|
气压 | ||||
电源电压 *2 | 单相:100 V、200 V 三相:200 V | 单相:200V | 三相:200V | 三相:200V | ||
电机额定值 | 千瓦 | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
进气口 | KF25 系列 | 肯氟烃40 | KF50 系列 | |||
排气口 | KF25 系列 | 肯氟烃40 | ||||
质量 | 公斤 | 35 | 48 | 100 | ||
法规遵从性 | CE、cTUVus | |||||
冷却方式 | 风冷 | |||||
气镇机构 3 | 存在 | |||||
大蒸汽处理量 4 | 克/小时 | <300 | <500 | |||
标准配件 | 电源连接器、信号连接器、使用说明书、空气过滤器、防护装置 |
用法说明
1. 如果泵在负载运行期间停止,然后立即重新启动,则可能无法重新启动。 在这种情况下,请将泵内部恢复到大气压。
2. 请勿吸入腐蚀性气体、有机溶剂、液体和可凝性气体(水蒸气等)。 此外,不要让污垢或灰尘进入泵。
3. 作为泵的滑动材料,杯状填料因运行而磨损,产生磨粒。 此外,所使用的滑动材料容易受到湿气的影响,因此如果被吸走,会加速磨损并缩短其使用寿命。 请勿吸入湿气或可凝结气体(水蒸气等)。
4. 本泵仅供室内使用。 请勿将产品安装在会暴露在雨中或水中的地方,或安装在室外。
5. 将泵固定在装置上时,请务必贴上防振橡胶。 防振橡胶的安装螺丝尺寸为 M5×P0.8。 此外,连接到泵侧的防振橡胶螺钉的长度不应超过 10 毫米。
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-6D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-12S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-9D-DC24
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-18S-DC24
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DA-30D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DA-60S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAT-50D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAT-100S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-15
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ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR30B