产品名称：ULVAC爱发科 涡轮分子泵

涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。

与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到超高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。

这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

长处

泵体和控制器部分分离，

可在控制器部分监控运行状态，并兼容各种通信标准。

自由安装方向 由于对

安装方向没有限制，因此扩大了设备设计的自由度。

抽速 300L/s ~ 4000L/s 级

可在泵速的 25 ~ 100% 范围内改变变

速，并可调节腔室压力。

高耐用性和性 它已通过各种确认测试，例如

大气进入测试和着陆测试。

用

各种设备的

真空主排气系统 - 半导体制造设备

- 气相沉积设备

- 溅射设备

- 分析设备，实验室设备等

- 研发设施

轻工艺主排气系统，无副反应产物

其他高真空排气应用

规范

表 1

型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A 质谱仪
进气口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
排气口			KF25 系列				肯氟烃40
冷却方式			水冷式	风冷	水冷式	风冷	水冷式	风冷	水冷式	风冷
极限压力 *1		帕	10-7				10-8
抽速 *2	注 2	L/s	320		420		800		1080
	氦气	L/s	ー
	他	L/s	340		360		800		930
	H2 系列	L/s	320		340		700		790
压缩比	注 2		1×109
	他		8×104
	H2 系列		1×104				4×103
大入口压力 *3		帕	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
大排气口压力 *3		帕	400	40	400	40	665	40	665	40
转速		转速	45000				35000
启动时间			5 分钟内
安装方向			可全向安装
表面处理			镀镍
冷却水	流量	升/分钟	1~3	ー	1~3	ー	1~3	ー	1~3	ー
	水压	MPaG	02~0.5	ー	02~0.5	ー	02~0.5	ー	02~0.5	ー
噪声		分贝（A）	60
质量		公斤	14				33		32
推荐的辅助泵			200L/min 或更高				500L/min 或更高
控制器	配置		分开
	输入功率		单相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）
	*大功率要求	千伏安	0.55				1.0
	变速功能		运行速度可在泵指定转速的 25% ~ 100% 之间变化（设置以 0.1% 为增量）
	外部控制		触点输入和输出
			RS-232C / RS-485
	质量	公斤	8

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