产品名称：ULVAC爱发科 涡轮分子泵

涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。

与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到超高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。

这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

这是一款带有集成控制器的涡轮分子泵，该控制器使用磁浮轴承。

泵体和控制器的集成节省了布线和空间。

长处

泵体与控制器一体化，

泵体与控制器之间无需繁琐的布线。

自由安装方向 由于对

安装方向没有限制，因此扩大了设备设计的自由度。

产品阵容包括抽速 1000L/s ~ 3000L/s 级。

适用于轻型工艺的广域高流量设计

可在泵速的 25 ~ 100% 范围内改变变

速，并可调节腔室压力。

高耐用性和性 它已通过各种确认测试，例如

大气进入测试和着陆测试。

用

各种设备的

真空主排气系统 - 半导体制造设备

- 气相沉积设备

- 溅射设备

- 分析设备，实验室设备等

- 研发设施

轻工艺主排气系统，无副反应产物

用油扩散泵更换设备

其他高真空排气应用

型

UTM1200A

UTM1600A

UTM2300A

UTM3400A

进气口

VG150型

ISO160F

VG200 系列

VG250 系列

ISO200F

ISO250F

VG250 系列

ISO250F

VG300 系列

VG350型

ISO320F

排气口

肯氟烃40

极限压力 *1

10-7 帕

抽速 *2*3

注 2

1030 升/秒

1400 升/秒

2100 升/秒

3200 升/秒

氦气

980 升/秒

1330 升/秒

2000 升/秒

3100 升/秒

H2 系列

660 升/秒

750 升/秒

1380 升/秒

2100 升/秒

压缩比

注 2

2×108

1×108 超过

1×109 超过

他

7×103

5×103

1×105

H2 系列

8×102

9×102

6×103

大入口压力 *4

26 帕

4.5 帕

7 帕

大排气口压力 *4

266 帕

200 帕

270 帕

转速

37200 分钟-1

33700 分钟-1

27600 分钟-1

变速功能

运行速度可在泵规定转速的 25% ~ 100% 之间变化。 （设置以 0.1% 为增量）

启动时间

8 分钟或更短

9 分钟或更短

16 分钟或更短

安装方向

可全向安装

表面处理 *5

没有

外部控制

远程 接口

D-sub 25 针母触点输入/输出

D-sub 37 针母触点输入/输出

串行 接口

专用圆形连接器 RS232C/RS485

D-sub 9 针公头 RS232C/RS485

控制器

配置

与泵体集成（内置于底部）

权力

单相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）

大功率要求

0.75千瓦

1.2千伏安

冷却方式

水冷式

冷却水 *6

流量

3~4 升/分钟

水压

0.2 ~ 0.4 MPaG

噪声

57 分贝（A）

60 分贝（A）

质量

43 千克

41 千克

56 千克

94 千克

推荐辅助泵 *7

600L/min 或更高

1500L/min 或更高

法规遵从性

CE、TUVus

标准配件

进气口 O 形圈（** VG）、排气口防尘帽、遥控器连接器、使用说明书 （CD-ROM）

选型规格

交流电缆

交流连接器/交流电缆 （5m/10m/15m/20m）

用于固定泵的特殊螺栓

M10/M12 系列

您需要一个特殊的螺栓来固定泵吗？

必需 （M10） *8

不需要 *8

可选配件

气口适配器：KF10

ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-60S
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ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-12S
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ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-121D
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ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-41D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-20D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAT-50D
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ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-15D
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ULVAC爱发科 涡旋式干式真空泵 DISL-102
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