
咨询电话:028-87319898
高斯摩产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION
- KYOWA协和
- 德国MICRONORM
- MINORU SANGYO美浓...
- AKIYAMA秋山机械
- OTAKE大竹
- OSHOMANOKI 大岛
- MARU 丸七
- yamamoto山本制作所
- NARISHIGE成茂
- SHOWA昭和电机
- 德国DRUSEIDT
- SAKAGUCHI坂口电热
- NITTO KOHKI日东工器
- 捷克COMET
- FUJICON富士
- 意大利ARTEC
- FUSOSEIKI扶桑精机
- MATSUO松尾电气
- MICROSTONE微石
- MISAKA米卡萨
- 土耳其OLEOCON
- DIT东日技研
- LEPTRINO莱普利诺
- KASHIYAMA樫山工业
- THINKY新基
- FUJIWARA藤原
- TEITSU帝通电子
- 德国IPF
- SURUGA骏河精机
- 瑞士CONTRINEX
- 德国ISOLOC
- KOTOHIRA琴平
- ANALYZER**热研
- 意大利GEV
- 德国JOKARI
- YAMABISHI山菱电机
- 德国MICROSONIC
- AITEC艾泰克
- NAGANO长野计器
- SATOVAC佐藤
- ADCMT爱德万
- Koshin工进精工
- 德国AUTOSEN
- NS精密科学
- MUSASHI武藏
- SAGADEN嵯峨电机
- COSMOS新宇宙
- KASUGA春日电机
- NIPPON GEAR日本齿轮
- SANEI三荣
- 德国EGE-ELEKTRONI...
- WATSON深江化成
- 捷克DINEL
- Osaka Vacuum大阪真...
- SONIC索尼克
- NDK电色
- MITUTOYO 三丰
- KYORITSU共立机巧
- HEIDON新东科学
- AMADA天田
- 意大利RACFLUID
- 意大利多利拿TOGNELLA
- 法国CLAVEL
- ANRITSU安立计器
- VIBRA新光
- LINTEC琳得科
- S-VANS斯万斯
- 瑞士史陶比尔STAUBLI
- T&D天特
- SHOWA SOKKI昭和测器
- KOFLOC科赋乐
- MIYUKI美幸辉
- YODOGAWA淀川
- CHUKOH中兴化成
- 德国德硕瑞Di-soric
- IMV艾目微
- ASAHI-SPECTRA朝日...
- EBARA荏原
- 德国欧普士optris
- TOFCO东富科
- ULVAC爱发科
-
INFLIDGE英富丽
- NITTO日东工器
- HAYASHI林时计
- SEN日森
- IIJIMA饭岛电子
- AND艾安得
- SIBATA柴田
- EYE岩崎
- TOHNICH东日
- MALCOM马康
- NEWKON新光
- CCS西西斯
- CHUBUSEIKI中部精机
- KAKUHUNTER写真化学
- FLUORO福乐
- EXCEL艾库斯
- RION理音
- OHKURA大仓
- TOKISANGYO东机产业
涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备,广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。
涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞,使分子加速流向排气口,从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。
与其他真空泵相比,涡轮分子泵具有非常高的抽速,可以快速准备真空环境,并且由于不使用油,可以提供清洁的真空环境,非常适合半导体制造等精密工作,并且具有从低真空到超高真空的广泛适用性,并应用于各种行业和研究领域。
这是一种涡轮分子泵,带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
“型号:YTP Ver.B”是搭载陶瓷滚珠轴承型涡轮分子泵的高真空排气装置。
可以从大气压排气到高真空。
产品阵容包括可通过 START/STOP 开关自动抽真空的 SA 型和可手动作的 M 型。
此外,旋转泵是辅助泵的标准规格,也可以选择干式涡旋泵的干式版本。
长处
根据用途,有多种型号可供选择:
使用旋转泵作为辅助泵的标准规格,以及使用干式涡旋泵的干式规格。
出色的停电对策
前阀标配电磁阀,以防止停电时回流和故障。
可以检查粗加工状态皮拉尼
真空计是标准配置,可以检查粗抽排气过程中的压力。
通过
安装可选的烘烤加热器和脱气处理,可以排气到 UHV 区域。 (* 作为产品规格值)
用
常压至高真空排气系统
用于各种实验和研究设备的排气系统
高纯度气体的真空置换
超高真空设备的粗废气系统
分析仪排气系统
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DTC-120
型
YTP -
50MB
YTP-50SAB
系列
YTP-
50MB-干
YTP-50SAB
-干
YTP -
300MB
YTP-300SAB
型
YTP-
300MB-干
YTP-300SAB
-干式
TMP 入口
法兰
ICF114、VG65、ISO63-K
ICF152、VG100、ISO100-K
TMP
极限压力
*1
烘烤前
10-6PA 单元
10-6PA 单元
烘烤后
10-8PA 单元
10-8PA 单元
TMP
抽速
*2
注 2
70 升/秒
280 升/秒
H2 系列
49 升/秒
220 升/秒
辅助泵
排气口法兰
G3/4
西北 16
G1
西北 16
辅助泵
抽速
50 赫兹
50 升/分钟
90 升/分钟
200 升/分钟
250 升/分钟
60 赫兹
60 升/分钟
100 升/分钟
240 升/分钟
300 升/分钟
TMP 背压和
粗压监测器
皮拉尼真空计 (2.7×103~10-1Pa)
前阀
带旋转泵自动排气机构的电磁阀(L 型电磁阀)
输入电压
单相 AC100V (50/60Hz)
输入电缆长度
5m (带 3P 插座)
电源容量
1.2 千伏安
0.9 千伏安
1.7 千伏安
1.6 千伏安
稳态
功耗 (kVA)
0.6 千伏安
0.4 千伏安
1.0 千伏安
质量
55 千克
57 千克
86 千克
85 千克
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DTC-41K
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DTC-60
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DTC-22K
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DTC-41
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DTC-22
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 MD4UCNT
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DTU-20
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 MD4UNT
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAU-100
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAU-20
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-30
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-15
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAL-361S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-241S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-120S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-81S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DA-40S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAT-100S