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  • 产品名称：ULVAC爱发科 涡轮分子泵

  • 产品型号：YTP-300MB-DRY
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。
详情介绍：

涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。

与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到超高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。

这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

“型号：YTP Ver.B”是搭载陶瓷滚珠轴承型涡轮分子泵的高真空排气装置。

可以从大气压排气到高真空。

产品阵容包括可通过 START/STOP 开关自动抽真空的 SA 型和可手动作的 M 型。

此外，旋转泵是辅助泵的标准规格，也可以选择干式涡旋泵的干式版本。

长处

根据用途，有多种型号可供选择：

使用旋转泵作为辅助泵的标准规格，以及使用干式涡旋泵的干式规格。

出色的停电对策

前阀标配电磁阀，以防止停电时回流和故障。

可以检查粗加工状态皮拉尼

真空计是标准配置，可以检查粗抽排气过程中的压力。

通过

安装可选的烘烤加热器和脱气处理，可以排气到 UHV 区域。 （* 作为产品规格值）

用

常压至高真空排气系统

用于各种实验和研究设备的排气系统

高纯度气体的真空置换

超高真空设备的粗废气系统

分析仪排气系统

型 YTP -
50MB 		YTP-50SAB
系列 		YTP-
50MB-干 		YTP-50SAB
-干 		YTP -
300MB 		YTP-300SAB
型 		YTP-
300MB-干 		YTP-300SAB
-干式
TMP 入口
法兰 		ICF114、VG65、ISO63-K ICF152、VG100、ISO100-K
TMP
极限压力
*1 		烘烤前 10-6PA 单元 10-6PA 单元
烘烤后 10-8PA 单元 10-8PA 单元
TMP
抽速
*2 		注 2 70 升/秒 280 升/秒
H2 系列 49 升/秒 220 升/秒
辅助泵
排气口法兰 		G3/4 西北 16 G1 西北 16
辅助泵
抽速 		50 赫兹 50 升/分钟 90 升/分钟 200 升/分钟 250 升/分钟
60 赫兹 60 升/分钟 100 升/分钟 240 升/分钟 300 升/分钟
TMP 背压和
粗压监测器 		皮拉尼真空计 （2.7×103~10-1Pa）
前阀 带旋转泵自动排气机构的电磁阀（L 型电磁阀）
输入电压 单相 AC100V （50/60Hz）
输入电缆长度 5m （带 3P 插座）
电源容量 1.2 千伏安 0.9 千伏安 1.7 千伏安 1.6 千伏安
稳态
功耗 （kVA） 		0.6 千伏安 0.4 千伏安 1.0 千伏安
质量 55 千克 57 千克 86 千克 85 千克

ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-6D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-12S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-9D-DC24
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-18S-DC24
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DA-30D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DA-60S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAT-50D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAT-100S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-15
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-30
ULVAC爱发科 机械增压泵 MBS-053
ULVAC爱发科 机械增压泵 PMB-060C
ULVAC爱发科 机械增压泵 PMB-040C
ULVAC爱发科 机械增压泵 PRC-018A
ULVAC爱发科 机械增压泵 PRC-012A
ULVAC爱发科 机械增压泵 PRC-006A
ULVAC爱发科 机械增压泵 PRC-003A


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