产品名称：ULVAC爱发科 溅射离子泵

溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。 电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。 这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。 该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。

溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择，因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的超高真空，并且没有机械运动部件，因此使用寿命长，维护成本低，并且不使用油来提供清洁、无污染的真空环境。 此外，与其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等优点。

该泵利用溅射活性钛的吸气剂作用来增强超高真空范围内的排气特性。

通过优化新元件和磁场，改善了极端和超高真空范围内的排气特性。

长处

兼容极端和超高真空。 10 带 ISO 标准测试圆球-9PA 装置极限压力演示。

惰性气体强化排气型（AU 型）实现了氩气排气性能的两倍。 （与我们公司相比）

在超高真空范围内实现大抽速。

可以在短时间内排气到超高真空范围。

在超高真空范围内具有出色的启动特性。 （放电可承受至超高真空）

用

粒子加速器

电子显微镜

电子束光刻设备

抗振分析仪

使用极端和超高真空环境等

型		PST-110AU 型	PST-200CXII 系列	PST-200AXII 系列	PST-400CXII 系列	PST-400AXII
废气目标气体		活性气体	活性气体	稀有气体	活性气体	稀有气体
再生抽速*		0.11 米3/s N2 测量气体时	0.2 米3/s N2 测量气体时	0.02 米3/s 测量 Ar 时	0.36 米3/s N2 测量气体时	0.19 米3/s 测量 Ar 时
极限压力		10-9帕	10-10帕
工作压力	建议的值	<4.5x10-3帕	<3.8x10-3帕		<3.0x10-3帕
内部卷		6.5 倍 10-3m3	11 倍 10-3m3		14x10-3m3
泵元件数量		AU 型电池 x2	2 个 CX 型电池×	2 个 AX 型电池×	CX 型单元格 × 4 个公式	4 个 AX 型电池×
连接法兰类型		UFC152的	UFC203
施加电压		直流+7.5kV
加热加热器		无设置	单相 AC200V，600W		单相 AC200V，800W
标准烘烤温度		250°C
质量		36.5 千克	65 公斤		124 公斤
尺寸 W×D×H		171×387×293毫米	296×361×376毫米		296×544×376毫米
使用环境	温度范围	5~40°C
	湿度范围	85% 或更低（无冷凝）
泵固定螺栓孔尺寸		4 位 - M6 深度 15mm	4 位 - M8 厚度 15 毫米		6 位 - M8 深度 15 毫米
推荐的控制器		商品及服务税 （GST-07L-B）

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