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产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计

  • 产品型号:SC1
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
“Model:G-TRAN” 是一种真空计,基于以下理念开发的:(1) 降低设备成本,(2) 节省空间,(3) 减少配线,以便将各种设备的过程控制集中化和小型化。
详情介绍:

“Model:G-TRAN” 是一种真空计,基于以下理念开发的:(1) 降低设备成本,(2) 节省空间,(3) 减少配线,以便将各种设备的过程控制集中化和小型化。

它由传感器单元和显示单元的基本单元组成,可以根据应用进行组合。

长处

测量元件与测量电路的集成结构

模拟和设定点输出

独立的伪对数输出和设定值输出(显示单位)

48 x 96mm DIN 标准尺寸(显示单元)

用于半导体和电子元件等各种制造设备的过程控制

用于各种工业设备(如熔炉)的过程控制

用于对具有许多工艺腔室的各种制造设备进行过程控制,例如在线和单晶圆类型

规范

类型 传感器单元
SC1
自适应测量元件 C-21、23、24、25
测量压力范围 1.0×10-5 ~ 1.0 帕
测量精度 +100%, -50%(1.0×10-4 ~ 1.0×10-1
工作温度范围 10 ~ 40°C
测量值输出 非线性输出:DC0V ~ 10V(HV-OFF 时为 10V)
SETPOINT1/2 调节输出 非线性输出:DC0 ~ 10V
控制输入信号 HV 开/关
输出信号 集电极开路,负逻辑
控制输出信号 放电确认/设定点 1/2
LED 指示 功率、HV、压力保护、设定点 1/2
权力 DC24V±2V、150mA
输入/输出连接器 D-sub - 15 针(M2.6 螺丝)
体重 430g (不包括测量元件)
附属品 1 个 I/O 连接器
快速手册 1 份
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