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受其结构影响,调节螺丝部分的旋转运动在针部变为直线运动 ,螺丝的间隙和振动不会对针部产生影响,可实现稳定顺畅的流量控制。
可实现超微小流量控制
对1ML/MIN的微小流量范围进行稳定**的控制。
各种各样的针变化
根据流量范围,我们不分阶段地准备了15种针,您可以从中选定控制范围佳的针。
非旋转结构针型
调整流量时,针部采用直线运动结构,因此MODEL 2412 SERIES除控制性能外,还具有耐久性。
良好的温度特性(15°C~35°C)(**BS#SS1~#3B)
针和流孔部分采用温度补偿结构,可获得约0.3%/℃的特性。
但是,液体的粘度可能会因温度条件而发生显著变化,因此温度特性仅适用于气体 。
用途
高精度控制气体、液体和微小流量范围
技术优势
热式技术(气体):
基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。
低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。
压差式技术(液体):
通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。
耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能:
数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自诊断报警(流量超限、传感器异常)。
典型应用场景
半导体制造
案例:晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。
配置:钛合金流道(耐Cl₂腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。
光伏产业
案例:硅烷(SiH₄)气体输送(MFC-3000系列)。
挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。
方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。
材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封
调节螺丝转数 | 约12转 |
---|---|
*大使用压力 | 1.0MPa |
*高使用温度 |
(B) 70℃ (SS)120℃ |
流体接触部分材质 |
(B)黄铜、POM、NBR (SS)SUS316、氟树脂、氟橡胶 |
目标 | 气体、液体 |
连接端口) | Rc1/4(标准) |