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产品详情
简单介绍:
背压控制阀是一种能将背压阀前段的压力设为恒定的泄压阀,可轻松、迅速地进行一般的后段控制调压阀难以实现的操作,如:控制带有大型缓冲器的水槽的压力、抽取混合气体的恒定流量等。
详情介绍:
便于安装的面板装配型
小型紧凑设计
可以高速调节一次侧压力
清洁结构
这是一种绿色无油阀,可在纯净状态下进**体控制。
用途
控制水槽压力
控制混合气体的恒定流量
技术优势
热式技术(气体):
基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。
低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。
压差式技术(液体):
通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。
耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能:
数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自诊断报警(流量超限、传感器异常)。
典型应用场景
半导体制造
案例:晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。
配置:钛合金流道(耐Cl₂腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。
光伏产业
案例:硅烷(SiH₄)气体输送(MFC-3000系列)。
挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。
方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。
材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封
| 型号 | 6800A | 6800B | 6800AL | 6800BL |
|---|---|---|---|---|
| 设定压力 | 0.01〜0.3MPa | 0.01〜0.6MPa | 0.01〜0.3MPa | 0.01〜0.6MPa |
| *大排气流量 | 1L/MIN | 0.8L/MIN | 10L/MIN | 10L/MIN |
| 耐压力 | 0.8MPa | |||
| 环境温度 | 5℃〜60℃ | |||
| 接口 | Rc1/4(标准)、Rc1/8 | |||
| 流体接触部分材质 |
(A)铝、黄铜、NBR (SS)SUS303、氟橡胶、氟树脂 |
|||
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