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高斯摩产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION
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- FLUORO福乐
- LINTEC琳得科
- NISSIN 日伸理化
- Nichiryo 立洋
- IMV艾目微
- HEIDON新东科学
- AND艾安得
- NPM电机
- CKD
- shindengen 新电元
- Yokogawa 横河
- SMC/日本
- 山武 azbil
- NPM日本脉冲
- 住友化学
- THOMAS托马斯科学仪器
- SAKAGUCHI坂口电热
- OHKURA大仓
- suiden瑞电
- AMANO安满能
- EYE岩崎
- KRK笠原理化
- MEIJI明治
- 大阪大友 OSAKA-TAIY...
- TOSEI东精
- OTSUKA大塚电子
- KYOWA共和
- CCS晰写速
- TSUBAKI 椿本
- MATSUO松尾电气
- SUGAWARA 菅原
- Kakuhunt写真化学
- SIBATA柴田
- SUGIYAMA杉山电机
- NIDEC尼得科
- ADVANTEC东洋
- KETT凯特
- HORIBA堀场
- DKK-TOA东亚电波
- OSHOMANOKI 大岛
- MARU 丸七
- yamamoto山本制作所
- NARISHIGE成茂
- SHOWA昭和电机
- 德国DRUSEIDT
- NITTO KOHKI日东工器
- 捷克COMET
- FUJICON富士
- 意大利ARTEC
- FUSOSEIKI扶桑精机
- MICROSTONE微石
- MISAKA米卡萨
- 土耳其OLEOCON
- DIT东日技研
- LEPTRINO莱普利诺
- KASHIYAMA樫山工业
- THINKY新基
- FUJIWARA藤原
- TEITSU帝通电子
- 德国IPF
- 瑞士CONTRINEX
- 德国ISOLOC
- KOTOHIRA琴平
- 意大利GEV
- ANALYZER**热研
- 德国JOKARI
- YAMABISHI山菱电机
- 德国MICROSONIC
- AITEC艾泰克
- NAGANO长野计器
- SATOVAC佐藤
- ADCMT爱德万
- Koshin工进精工
- 德国AUTOSEN
- NS精密科学
- MUSASHI武藏
- POLARION普拉瑞
- KYOWA协和
- SAGADEN嵯峨电机
- EMIC爱美克
- YAMAMOTO-MS山本镀金
- 德国MICRONORM
- COSMOS新宇宙
- REVOX莱宝克斯
- TSUTSUI筒井理化学
- MINORU SANGYO美浓...
- KASUGA春日电机
- SANKO山高
- KUBOTA久保田
- AKIYAMA秋山机械
- NIPPON GEAR日本齿轮
- HONDA本多
- YAZAWA矢泽科学
- OTAKE大竹
- SANEI三荣
- SIMCO思美高
- 德国EGE-ELEKTRONI...
- WATSON深江化成
- 捷克DINEL
- Osaka Vacuum大阪真...
- SONIC索尼克
- NDK电色
- MITUTOYO 三丰
- KYORITSU共立机巧
- AMADA天田
- 意大利RACFLUID
- 意大利多利拿TOGNELLA
- 法国CLAVEL
- USHIO牛尾
- ONO SOKKI/小野测器
- COSIMO科斯莫
- TOPCON拓普康
- AND爱安德
- KOKUSAN科库森
- ANRITSU安立计器
- MTL梅特勒托利多
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- Murata 村田
- ASHIZAWA
- KITZ北泽
- Luceo卢塞奥
- S-VANS斯万斯
- KOFLOC小岛
- 瑞士史陶比尔STAUBLI
- SIHIDA石田
- CEJN希恩
- T&D天特
- TEXIO 德士
- KIKUSUI 菊水
- SHOWA SOKKI昭和测器
- Olympus 奥林巴斯
- EIKOSOKKI
- KOFLOC科赋乐
- AS ONE 亚速旺
- Danfoss丹佛斯
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- HORIBA 堀场
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- Staubli史陶比尔
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- 法国SES-STERLING
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- TAKAMORI高森
- HONDA本多电子
- LAPP缆普
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- FUNATECH船越龙
- NICHIRI日理
- TORAY东丽
- SEKONIC世光
- ITOH 伊藤电机
通过内置温度传感器在有液体通过时,实现了液体温度的可监测性
通过温度补偿减少了因液温变化而产生的精度误差
无0型圈设计,接触液体部位的材质均采用New PFA
体积更小,更节省空间
防水性相当于I P 6 5 等 级
电源为12-24VDC单电源驱动
技术优势
热式技术(气体):
基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。
低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。
压差式技术(液体):
通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。
耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能:
数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自诊断报警(流量超限、传感器异常)。
典型应用场景
半导体制造
案例:晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。
配置:钛合金流道(耐Cl₂腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。
光伏产业
案例:硅烷(SiH₄)气体输送(MFC-3000系列)。
挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。
方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。
材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
流量精度(* 1)
流量输出
型号
FML-301
FML-302
FML-303
FML-304
FML-305
FML-306
测量流体
纯水、药液等
连接部位
3/8”Tube
3/8”Tube
1/2”Tube
3/4”Tube
1”Tube
1(1/2)”Tube
耐压(25℃)
1MPa(G)
0.75MPa(G)
0.65MPa(G)
接触液体部位材质
New PFA
流量范围
0.3~2.5L/min
0.4~4.0 L/min
2.0~16L/min
5.0~50L/min
10~100L/min
25~250L/min
±2.0%F.S.以内(流体温度:15℃~60℃)
±3.0%F.S以内
(流体温度:15℃
~60℃)
重现性
±0.5%F.S.以内
无显示器
I-电流输出或者P-脉冲输出 可选择
I-电流输出4-20mA(0-100%F.S.),容许负载电阻:24VDC输入时250~5000,12VDC输入时250Ω以下
P-脉冲输出(1kHz@F.S. 占空比50%NPN集电极开路输出Max。30VDC/80mA)
配显示器
I-电流输出或者P-脉冲输出 可选择
I-电流输出4-20mA(0-100%F.S.),容许负载电阻:24VDC时250~5002,12VDC时2500以下
P-脉冲输出(1kHz@F.S. 占空比50%NPN集电极开路输出Max.30VDC/80mA); 累计输出:脉冲输出
温度输出
(* 2)
无显示器
配显示器
1-5VDC(0-100℃)外接负载电阻:250kQ以上
4-20mA(0-100℃)容许负载电阻:24VDC输入时250-5000,12VDC输入时2500以下
通信
无显示器
无
配显示器
2线RS-485(Modbus、RTU)
警报输出
警报接点:2点NPN集电极开路输出(Max30VDC/80mA)[**配显示器的型号]
温度精度
±2℃ ±0.15×△T℃ △T: |环境温度-流体温度
流体温度
0~90℃(不上冻或沸腾)
环境温度
0~50℃(不上冻)
环境湿度
95%RH以下
保存温度
-10~70℃(不上冻)
电源
无显示器
12~24VDC±10%消费电流80mA以下
配显示器
12~24VDC±10%消费电流140mA以下
保护结购
相当于IP65(防水,防尘规格)
电线长度
3m(终端处理,有预备焊锡)
适合规格
RoHS210物质,CE
重量
无显示
160g以下
175g以下
200g以下
360g以下
配显示
165g以下
180g以下
205g以下
365g以下