产品名称：EBARA荏原 干式真空泵

干式真空泵无需使用油或其他液体作为工作介质，因此在操作过程中不会产生油蒸气或油雾。这一特性不仅避免了油污染问题，还确保了工作环境的洁净度。在半导体制造和医药生产等对洁净度要求极高的行业中，干式真空泵的这一优势尤为重要。无油操作还意味着减少了油处理和更换的频率，降低了维护成本和停机时间。

干式真空泵有多种类型，常见的有爪式干泵、螺杆式干泵和涡旋式干泵等。

爪式干泵通过两个相互啮合的爪形转子实现气体的吸入和排出，具有结构简单、运行平稳的优点。

螺杆式干泵则利用两根相互啮合的螺杆转子进**体压缩，适用于高流量和高真空度的场合。

涡旋式干泵通过两个相互错开的涡旋盘来实现气体的压缩和排出，具有低噪音和高效率的特点。

干式真空泵通过机械运动直接抽除气体，无需液体密封或润滑。其工作原理主要依赖于转子、叶片或螺杆等机械结构的运动，将气体从进气口吸入并压缩，*终从排气口排出。常见的干式真空泵类型包括螺杆式、爪式、旋片式和涡旋式等。

干式真空泵的优点

干式真空泵相较于传统油封式真空泵具有诸多显著优点，这些优点使其在现代工业应用中备受青睐。

干式真空泵无需使用油或其他液体作为工作介质，因此在操作过程中不会产生油蒸气或油雾。这一特性不仅避免了油污染问题，还确保了工作环境的洁净度。在半导体制造和医药生产等对洁净度要求极高的行业中，干式真空泵的这一优势尤为重要。无油操作还意味着减少了油处理和更换的频率，降低了维护成本和停机时间。

干式真空泵的维护成本较低。由于没有油介质，干式真空泵的内部部件不易受到油污染和油老化的影响，从而延长了泵的使用寿命。此外，干式真空泵的结构相对简单，维护和保养工作较为简便。定期检查和更换易损件即可保持泵的高效运行，减少了维护工作量和相关费用。