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  • 产品名称：LINTEC琳得科 质量流量控制器

  • 产品型号：MM-3472L
  • 产品厂商：LINTEC琳得科
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简单介绍：
质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。
详情介绍：

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

核心技术架构

传感系统：

热式传感：基于King's Law原理，采用毛细管式或旁路式设计，温度分辨率达0.01℃

压差式传感：基于层流元件和压差传感器组合，适用于大流量范围（0.1-5000SLM）

科里奥利式：直接质量测量，精度可达±0.1%读数

阀体系统：

压电瓷阀（响应时间<10ms）

电磁比例阀（寿命>10⁸次循环）

温度 *下压差 *大压差 精度 控制范围 *小F.S. *小F.S. 密封件
5～50℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%F.S. 5SCCM 400SLM Au

典型应用场景

1. 半导体制造：

晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）

CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）

离子注入（BF₃/PH₃**配气）

2. 新能源领域：

燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）

光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）

3. 制药行业：

生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）

LINTEC琳得科 加热器 HX-0300C
LINTEC琳得科 加热器 HX-0100C
LINTEC琳得科 加热器 HX-0051H
LINTEC琳得科 加热器 HX-0050A
LINTEC琳得科 加热器 HX-0020
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3202L-TN
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L-TN
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3482L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3472L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3462L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3452L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3252L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3202L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3202L-TC
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L-TC
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-11RC
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