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  • 产品名称：Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿势涡轮分子泵

  • 产品型号：TG350F
  • 产品厂商：Osaka Vacuum大阪真空
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简单介绍：
大阪真空（Osaka Vacuum）是日本真空技术制造商，其产品广泛应用于 化工、半导体、制药、食品加工、冶金 等行业，提供从 低真空到超高真空（UHV） 的全系列真空泵解决方案。
详情介绍：

灵活的安装姿势
紧凑的尺寸
节能
可快速停止排气
结构耐大气层进入
可以进行串行通信
符合**标准的 NRTL/SEMI-S2/CE
型 TG350F 系列
进气法兰 VG100
ISO-R100
CF100
抽速 VG / ISO-R・CF
N2 （升/秒） 		350 / 330
VG / ISO-R・CF
N2（带保护网） （升/秒） 		330 / 310
VG / ISO-R・CF
H2 （升/秒） 		210 / 210
*大压缩比 N2 1×108
H2 2×103
极限压力 （Pa / Torr） <1×10-6 / <7.5×10-9
*大气体流速※1 （SCCM） 500
启动时间 （分钟） 2-2.5
停机时间 （分钟） 5-6.5
允许的辅助压力 （Pa / Torr） 260 / 2
推荐的辅助泵 （升/分钟） ≧80
安装姿势 自由
质量 VG/ISO-R/CF（千克） 6 / 9
控制器类型 TC353 系列

用
■ 半导体制造
■ 电子枪排气、离子源排气
■ FPD制造
■ 表面处理、表面改性
■ 各种电子元件的制造
■ 分析检测设备
■ 管材制造、光学元件制造
■ 加速器、辐射设施、聚变研究
■ 热处理
■ 研发
* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。


高斯摩代理品牌部分示例：

品牌

所属国

主营产品

对应行业

EYE岩崎

日本

UV固化灯管、照度计、紫外线清洗机等

光电/半导体等行业

SEN日森

日本

表面处理装置、光化学反应装置、UV硬化装置、紫外线清洗灯等

食品/养殖/医疗/等行业

CCS晰写速

日本

环形光源、点面光源、条形光源、LED光源机等

大学院校/实验室、自动化设备、人工智能等行业

NPM日脉

日本

运动控制芯片/旋转（直线）步进马达/驱动器/磁轴直线电机/纳米级高精度定位平台模组等

3C半导体行业、智能制造、流体控制、数控机床、电子、汽车、医疗、及院校科研等行业


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