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  • 产品名称：KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵

  • 产品型号：MU180X
  • 产品厂商：KASHIYAMA樫山工业
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简单介绍：
无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
详情介绍：

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

（1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

（2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

（3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

（4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

（5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

规格/型号 MU100XE MU180X MU300XE MU600XE MU1200XE
*大抽速
[L/min] *1 *5 		1,660 3,000 5,000 10,000 20,000
极限压力
[Pa] *1 		1.5 0.5
电源电压
（50/60Hz） 		三相 AC200~220V *2
功耗
[kW] *3 		0.25 0.5 0.45 0.5 0.6
外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *4 450×230×275  550×280×299  450×230×520  530×230×520  625×275×580 
重量 [kg] 60 95 100 120 165


液环泵在低压下抽气量小、效率低，而且还产生气蚀现象，建议在液环泵的入口上增设一个大气喷射器，如图3所示，大气喷射器是喷射泵的一种类型，它利用液环泵工作时与大气压（或者是液环泵的排气压力）之间的压差将气体吸入到工作喷嘴，并获得超音速的射流，在混合室内造成真空，从而将被抽气体吸入，两股气体混合后，经过扩压管再被液环泵吸入并排到泵外。


代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、NPM日脉  、SUGIYAMA杉山
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田 
优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、 HAYASHI 林时计
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置



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