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  • 产品名称：IWAKI易威奇 光刻胶点胶泵

  • 产品型号：PDS-H115
  • 产品厂商：IWAKI易威奇
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简单介绍：
在半导体制造、先进封装、MicroLED巨量转移等**领域，将光刻胶（Photoresist）以微米级精度、纳米级均匀性涂覆于基底表面，是光刻工艺成败的关键**步。光刻胶点胶泵（Photoresist Dispensing Pump）作为涂胶设备（Coater）的核心子系统，承担着光刻胶的定量抽取、稳定输送、精准分配任务。它如同芯片产线上的“超精密胶笔”，其性能直接决定胶膜厚度均匀性、缺陷控制水平和生产良率，是突破制程极限的隐形功臣。
详情介绍：

光刻胶点胶泵 PDS-H115

适用于 LED 和 MEMS 等高粘度应用

PDS-H115 的特点

显著节省光刻胶

由于使用高扭矩步进电机作为驱动源，即使由于过滤器堵塞或粘度变化导致排放负荷增加，吐出量也几乎没有减少，并保持了高吐出量精度。 因此，可以将涂布量设置为必要的*小限度，并且可以大大减少光刻胶液的使用量。

• 移液准确度：±0.3% （F.S.）

• 分离度：0.01 mL

与各种涂层工艺兼容

由于可以在一次喷射中任意改变放电速率，因此可用于各种光刻胶涂层工艺，例如少量和短期涂层。

减少停机时间

内置压力传感器（可选）监测排放压力以控制何时更换过滤器。 此外，放电量和放电时间只能通过向控制器输入数字来设定。 它消除了作员的工作量，减少了停机时间。

适用于高粘度应用

它能够处理高达 10,000 mPa·s 的高粘度液体。 它采用独特的结构，没有滑动部件，不仅适用于 LED 和 MEMS 器件制造过程中的高粘度应用，还可用于电解液填充应用。

*大放电率 12.0 mL/次
出料速度 0.5〜2.0 毫升/秒
抽吸速度 0.3〜2.0 毫升/秒
*大排放压力 1.0MPa
放电精度 ±0.3%（满程）
主要材料 聚四氟乙烯
*大传输液体粘度 10,000 毫帕斯卡

电动计量泵

满足各种化学品注入需求的计量泵

IWAKI 的计量泵满足化学品注入的各种需求。 它在质量和性能方面享有盛誉。 无论是能够承受恶劣运行条件的工艺用液压隔膜泵，还是多功能直动式隔膜泵，还是采用高压微喷射的柱塞泵，Iwaki 始终追求计量泵的理想。

电动计量泵的特点

在不搅动液体的情况下泵送恒定体积的液体。

它具有出色的排放量再现性，适用于**的化学品注入。

它由耐化学腐蚀的材料组成，因此具有优异的耐腐蚀性。

主要应用

水处理过程、化学工业过程、造纸过程、食品生产过程、新能源过程

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IWAKI易威奇 电动计量泵 AX-P
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