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  • 产品名称：KOFLOC 科赋乐 质量流量控制器

  • 产品型号：EX-201SC-RJ
  • 产品厂商：KOFLOC 科赋乐
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KOFLOC 科赋乐  EX-201SC-RJ  质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐  EX-201SC-RJ  质量流量控制器

  • 高精度(±1%瞬时流量)
    在一定区间可修改全量程范围
  •  支持多范围、多气体、
    在免费提供的软件上操作简单
  • 输出输入可选择0-5V/4-20mA
    电源也可以选择DC24V
    数字通信RS485(9600bps)
  •  常用性的连接头
    Dsub9针插头、RJ-45 模块化插孔×2
  • S.P.精度保证的高精
    度质量流量控制器
传落器类型 热式绕线型
适用气体※1 N₂ (可根据气体转换功能适用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4)
流量量程※3 (0℃,tatm) 10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim
控制范围 2-100%(FS)
响应性 所有量程控制范围1秒以内(within±2%F.S.typical)
精度 ±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.)
重现性 ±0.2%FS
动作压差※4 50-300kPa(L:50~149kpa、H:150～300Kpa)
入口*大压力 500kPa(G)
耐压 980kPa(G)
外部泄漏率 1.0×10-⁸Pa ·m³/sec(He)以下
温度 充许环境温度 5~50℃
精度保证温度 15~35℃
允许保存温度 -10～60℃
允许环境湿度 10～90%RH(未出现冷凝)
与气体接位部位的材 质 SUS316,SUS316L,磁性不锈钢，PTFE,PCTFE,FKM
电气连接 Dsub9针KFC Standard(依据SEMI standard) RJ-45模块化插孔×2
流显设置信号 V:0~5VDC(输入抗阻1MQ以上)/ I:4～20mA((输入抗阻2502以上)
流量输出佰号 V:0～5VDC(*小负载电阻10Ω以上) I:4~20mA(*小负载电阻5002以上)
数字通信 RS485旋转开关的地址设置 可选(MODBUS-RTU9600bps)
所需电源 24VDC(±10%)300mA以下
接头 1/4SW(标准)
安装方位 建议水平方向
重量 MFC:约500g



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