KOFLOC 科赋乐质量流量控制器 EX-550 高斯摩（成都）国际贸易有限公司

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KOFLOC 科赋乐 EX-550 质量流量控制器

· 金属密封结构

· 高速应答及出色的零点稳定性

· 0-5V或4-20mA输入/输出信号，电源
可从±15 V或24 V单电源选择
□电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器

· 通过切换旋转开关，可以使用主机中登记的气体类型。
※流量是与N2气体的比率计算出的值

· 标准配备通讯功能（RS485）

· 符合RoHS•CE标准

形式		质量流量控制器 EX-550C	质量流量计 EX-550M
传感器方式		热绕组传感器
阀门方式		比例螺线管阀门（未通电时关闭）	–
*目标气体（ 1）**		N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等（未列出的气体换算成N2）
*流量范围（ 2）**		10 SCCM~5 SLM
控制范围（测量范围）		2~100％（F.S.）
响应速度		总流量控制范围在1sec内（within±2%F.S.）
		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa	–
精度		±1.0％SP（25％FS至100％FS），±0.25％FS（25％FS）
再现性		±0.2%F.S.
*工作压差（ 3）**		50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa）	–
*大入口压力		350kPa（G）
耐压		980kPa（G）
He泄漏率		1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度	允许周围温度	5～50℃
	精度保证温度	15～35℃
	允许储存温度	-10～60℃
允许环境湿度		10～90%RH （无结露）
气体接触材料		SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co
电气连接		Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） HR-10A×2
流量设定输入信号		0~5 VDC（输入电阻约1MΩ） Or 4~20mA（输入电阻约250Ω）	–
流量输出信号		0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上） or 4~20mA（负载电阻500Ω以下）
数字通信		通过RS485旋转开关设置地址
所需电源（DC）		+15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都为100mA以下）
接头		相当于1/4 VCR
安装姿势		未指定
重量		约800g	约550g

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产品名称：KOFLOC 科赋乐 质量流量控制器