ORC橡树制造紫外线照射设备 PPS-8200p1 高斯摩（成都）国际贸易有限公司

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ORC橡树制造 PPS-8200p1 紫外线照射设备

用途
多功能应用
兼容6/8/12英寸光刻，适用于WL-CSP、IGBT、CIS等。
宽带暴露(自动切换配方、GHI、GH、D)
特長
变量NA函数(0.16和0.1变量)
*多8场准星设计格式
化学保护光学系统，防止电阻气体和周围环境的干扰。

规格

模型	PPS-8200p1/8300p1
晶圆尺寸	6/8/12英寸
结局	2.0 μmL/s（2.0 μm 光阻厚度）
NA（空缺数量）	0.16， 0.1 变量
约简比	1:1
场地面积	52毫米×33毫米
曝光波长	GH-Line I-Line（配方链接）
瞄准线尺寸	6英寸
堆叠精度	≦0.5微米（\|Ave\|+3σ）
器件尺寸/重量	（W）2,260×（D）3,460×（H）2,500毫米 / 5,500公斤
关键选项	背面对准系统晶圆周长曝光系统晶圆外围非曝光系统薄晶圆传输系统 GEM通信兼容线内支持

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产品名称：ORC橡树制造 紫外线照射设备