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高斯摩产品分类
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- NPM日本脉冲
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- YOSHIMITSU小平
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- DAIKIN大金液压
- FUJIKIN富士金
- EBARA荏原机械
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- YAMADA山田光学
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- SONIC索尼克
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产品详情
简单介绍：
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HORIBA堀场 D700T 质量流量控制器
HORIBA堀场 D700T 质量流量控制器
CRITERION™ 系列 D700T 是一款高性能质量流模块，专为关键半导体制造工艺设计。 它采用基于压力的流量测量与控制技术，提供行业**的重复性和精准的性能。 此外，它配备了一种巧妙的**先进流量控制算法双阀结构，能够解决气体输送系统面临的多种问题。
- 在整个流量范围（上升、下降、设定点到设定点）响应速度低于100毫秒
- 自我诊断多重诊断功能（**）
- 改进的压力不敏感
- 高流量精度（±0.8%S.P.）以及可重复性（±0.15%S.P.）
- 覆盖广泛的环境温度范围（15-60°C）
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