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  • 产品名称:HORIBA堀场 质量流量控制器

  • 产品型号:D700MG
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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HORIBA堀场  D700MG  质量流量控制器

HORIBA堀场  D700MG  质量流量控制器

半导体制造中的气体控制是决定工艺结果的关键因素之一。 近年来,随着微型化和三维结构等先进半导体器件的发展,对气体控制性能改进的需求日益增长,以提升生产率和良率。 堀叶ESTECH开发了CRITERION™系列D700MG,旨在通过流体测量与控制技术进一步满足客户需求

  • 设备上的气体和流量规格可调整,为
    工艺优化提供灵活性。

     
  • 响应速度少于100毫秒,高生产力和改进的工艺性能。

     
  • MRMG功能适用于小流量(Bin101~Bin105)
    它允许灵活适应需要小流量的工艺。

     
  • PFA阀门的截止和耐腐蚀性能优越,减少
    停机时间并优化良率。

     
  • 状态监控功能提供了
    更多内部数据,并允许更智能的故障预测。


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