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  • 产品名称：HORIBA堀场 质量流量控制器

  • 产品型号：D700WR
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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HORIBA堀场  D700WR  质量流量控制器

HORIBA堀场  D700WR  质量流量控制器

CRITERION™系列D700WR安装了专为多种控制应用设计的新型限流器，基于CRITERION™技术实现高精度性能。 CRITERION™系列D700WR能够控制流量，控制流量可达全尺寸范围的0.1%，帮助用户优化气体输送系统的灵活性。 例如，如果安装多个MFC以控制大流量和小流量，用户可以减少MFC数量，并在相同位置使用另一个MFC以实现不同目的。

  • 0.1~100%的宽范围控制和低流量
    时的高精度，提供工艺优化和灵活性。
     
  • 响应速度少于500毫秒，带来
    高生产力和改进工艺性能。
     
  • 坚固的CIP压力传感器零故障，减少大规模生产的
    停机时间和工时。
     
  • PFA喷嘴的阀门关闭和摩擦阻力超过10倍，减少
    停机时间并优化良率。
     
  • 状态监控功能提供了
    更多内部数据，并允许更智能的故障预测。


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