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  • 产品名称:HORIBA堀场 质量流量控制器

  • 产品型号:DZ-127MG
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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HORIBA堀场  DZ-127MG  质量流量控制器

HORIBA堀场  DZ-127MG  质量流量控制器

一款宽10毫米的高性能质量流模块,适用于采用压差检测方法的先进工艺。 ±实现0.5%的超时精度和不到0.4秒的响应时间。

新的CRITERION™系列DZ-107(EtherCAT®通信型号)保持10毫米宽度,同时*大化全尺寸流量(20SLM),并提供内部气体数据的灵活作性。

  • 快速响应
    时间:0.4秒内
  • 轻便紧凑型 10毫米
    宽,99毫米高(DZ-114S)
  • 实现高精度
    ±0.5% S.P.
  • 集成支持

  • DeviceNet™ 通信模型。EtherCAT
    ® 通信模型。
  • 扩展一次供水压力范围
    110~900kPa(DZ-114S)
  • 多气体、多范围和多压力功能 用户端可以

    更改“气体类型”、“全量流量”和“供气压力范围”。 它有助于降低成本,比如减少备件的使用。

 



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