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产品详情
简单介绍：
详情介绍：
HORIBA堀场 SEC-N114MGR (W) 质量流量控制器
HORIBA堀场 SEC-N114MGR (W) 质量流量控制器
它是一款通用型号数字质量流量控制器，适用于广泛的行业和应用，流量控制范围从10 SCCM到1000 SLM，还有数字模拟、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™和EtherCAT®通信方式。 它还结合了±1.0%的高速输出精度、全程1秒内的快速响应以及多射程/多气体能力。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC 有限公司
-
可选通信方式
：数字/模拟、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®
| 沟通方法 | 驱动电源 | 产品模型 |
|
数字通信 ·RS-485 F-Net protcol 模拟通信 ·0~5伏直流 |
±15伏直流（±5%）※ | SEC-N102系列 |
| 设备网TM交通 | ODVA 规范 | SEC-N104系列 |
|
CC-Link®通信 模拟通信 ·0~5VDC 0~10VDC ・4~20mA |
24伏直流（13~32伏直流） | SEC-N105系列 |
|
Profibus 通信 模拟通信 ·0~5VDC 0~10VDC ・4~20mA |
Profibus 标准 24伏直流（13~32伏直流） |
SEC-N106系列 |
| EtherCAT®通信 |
EtherCAT 规格 24伏直流 +/-4V |
SEC-N107系列 |
宽流量控制范围为10 SCCM至1000 SLM，
流量控制范围可为全尺寸流量值的2%。
-
高精度：±1.0% S.P.。流量精度提升，配备数字校正功能以实现
设定点精度 - 整个流量范围的快速响应：1秒内完成全范围
-
多气体/多范围功能气体类型和全量流量可由
用户调整。
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