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  • 产品名称:HORIBA堀场 液态材料汽化系统

  • 产品型号:LSC
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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HORIBA堀场  LSC  质量流量控制器

HORIBA堀场  LSC  质量流量控制器

该系统使各种液体物质(包括纯水)气化,并可在任何流量下控制和供应。 从低流量到大流量均可实现稳定汽化。 即使发生汽化,液态物质也会被供应到汽化罐,使得长时间持续产生。

业务部门:半导体
产品类别:流体控制系统
制造商:HORIBA STEC 有限公司
  • 它实现了从低流量到大流量的稳定液体汽化。
  • 它配备了质量流量控制器,即使在高温气体中也能控制流量。
  • 即使发生汽化,也向汽化罐供应液态材料,可以实现长时间的连续发电。
  • 我们将提出一个满足液态材料、汽化流量和产生条件的系统。 我们还支持内置生产设备类型。 欢迎随时联系我们。
产生流量 H2O 2SLM、TEOS 600SCCM(*大)
工作压力 *大:1.33kPa
源罐容量 2.7L
温度控制方法 通过恒温器控制PID。
液位检测方法 浮子开关
内置
质量流量控制器
SEC-8400系列
气动阀门 风箱型,隔膜型
湿润和气体部件材料 SUS-316L,宾夕法尼亚号
工作环境温度 20〜35°C
外部输入 气动阀开闭
质量流量控制器流量设定信号(0-5VDC/0-100%F.S.)
紧急停止信号,自动零点信号(可选)
外部输出 车身预热完成信号温度报警液位高频报警
液位信号(H、M、L)、质量
流量控制器流量输出信号(0-5伏直流/0-100%华氏度) 恒温室内部风扇停止报警阀
电压监测器(可选)
电源 交流100伏单相50/60赫兹,1.5千伏安
其他 自动充电系统:可连接LU系列。


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