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产品详情
  • 产品名称:HORIBA堀场 液态材料汽化系统

  • 产品型号:LE
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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HORIBA堀场  LE  质量流量控制器

HORIBA堀场  LE  质量流量控制器

这是一种高流量蒸发器,采用铝合金铸造流路管道和加热器,具有高汽化效率。

业务部门:半导体
产品类别:流体控制
制造商:HORIBA STEC 有限公司
它是一种铝合金,具有高汽化效率和良好的导热能力,结构由不锈钢管道和加热器构成。
‣ 抗堵塞和防腐蚀 ·蒸汽器内部**受潮的部分是不锈钢管道。
‣ 可以使用高温 ・蒸发器的设定温度为室温+5°C~300°C(可全天使用)。
‣ 浓度稳定性:新开发的定量喷嘴稳定地将液体流动注入蒸发器。

[主要规格]

■兼容型号
H
2O/IPA/TEOS/SiCl4

■产生流量(气体流量)
H
2O:10克/分钟(12.4SLM)
异丙醇:30克/分钟(11.1SLM)
TEOS:50克/分钟(5.3SLM)
硅化石
L4:130克/分钟(17.1单调液)


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