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  • 产品名称：HORIBA堀场 液态材料汽化系统

  • 产品型号：LF- F50M-A
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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HORIBA堀场  LF- F50M-A  液态材料汽化系统

HORIBA堀场  LF- F50M-A  液态材料汽化系统

这是一种配备有质量流量传感器和冷却测量系统的液体流量控制器和流量计。
通过安装冷却测量传感器，可以测量和控制多种液体的流量，从低蒸气压材料到纯水，因为传感器部分不加热。
流量控制单元配备了一个金属隔膜结构的阀门，该阀门无死容，能够在μ升/分钟级水平对痕量流量进行**且准确的控制。 结合专用蒸发器，可以构建纯水和液体材料的汽化（气化）系统。

业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC 有限公司
  • 数字电路的采用实现了高精度和快速响应
  • 可实现微升流量控制
  • 能够**控制低沸点液体材料和高粘度液体材料
  • 超洁净准备
  • 符合RoHS
名称 质量流量计
模型 LF-
F20M-A 		LF-
F30M-A 		LF-
F40M-A 		LF-
F50M-A 		LF-
F60M-A
全量流量（g/min） 0.02/0.05/0.1  0.2/0.5  1/2/5  10/20  50/100
测量控制范围 5%至100%F.S.
适用液体类型 *1 除了会腐蚀不锈钢的液体，如HCl.HF
液体粘度 *2 *大 0.1 Pa·s（100cp）
准确率 *3 ±1% F.S.
线性性 *3 ±0.5% F.S.
重复性 *3 ±0.5% F.S.
响应精度 3秒内（T98） 2秒内（T98）
可用环境温度 *4 5-50°C（推荐温度15°C-45°C）
温度效应范围 ±0.1%F.S./°C *大±1%
压力差 *5 *大5MPa（单质量流量计）0.05-0.3MPa
（压电阀控制）
耐压 10MPa（作为流量计）
压力降 *6 *高500帕
流量设置信号 模拟：0.25至5伏直流（输入阻抗1MΩ或更高）
数字：RS485（F-Net协议）
流量输出信号 模拟：0-5 VDC（*小负载电阻2kΩ）
数字：RS485（F-Net协议）
驱动电源 +15 V ±5%，200 mA -15 V ±5%，200 mA
外部泄漏标准 5×10-12Pa·m3/s（他）
湿润部件材料 SUS316L，倪
标准配件

1/16,1/8 摆动锁类型，

1/8 VCR 类型

1/8摇摆锁型，1/8录像机型 1/4 摇摆锁型，1/4 录像机型


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