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  • 产品名称:HORIBA堀场 压力控制设备

  • 产品型号:GR-511F
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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HORIBA堀场  GR-511F  压力控制设备

HORIBA堀场  GR-511F  压力控制设备

GR-500系列能够稳定且高精度地控制氦气和氩气等传热气体,这些对于晶圆背面的温度控制至关重要。 它配备了高速高分辨率压电阀和质量流量传感器,不仅能准确稳定地控制微压,还能实现流量测量。

业务部门:半导体
产品类别:流体控制
制造商:HORIBA STEC 有限公司
  • 经过验证的电容式压力传感器可在低压下实现**压力控制。
  • 在压力控制期间对气体流量进行高度**的监测。


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