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高斯摩产品分类
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产品详情
简单介绍：
详情介绍：
HORIBA堀场 GR-317F 压力控制设备
HORIBA堀场 GR-317F 压力控制设备
GR-300系列能够稳定且高精度地控制热传递气体，如氦气和氩气，这些气体对于控制晶圆背面温度至关重要。 它配备了高速高分辨率的压电阀和质量流量传感器，不仅能准确稳定地控制压力差，还能实现流量测量。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC 有限公司
- 准确且稳定的供给
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配备质量流量传感器 配备质量流量传感器，该传感器广泛应用于
质量流量控制器，可以以与物料气体输送过程相同的精度监测实际流量。 -
与质量流量控制器尺寸相同，由于它支持与
质量流量控制器相同的尺寸和配件，因此设计和制造方式相似。 - 符合RoHS
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