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产品详情
  • 产品名称:HORIBA堀场 真空计

  • 产品型号:VG-211S
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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HORIBA堀场   VG-211S  真空计

HORIBA堀场   VG-211S  真空计


工艺中压力测量是许多行业的重要技术,包括半导体、平板显示器、光伏板、硬盘和涂层。 电容压力计利用与对电极的电容,测量隔膜两侧(称为隔膜)之间因压力差引起的位移量,并将其转换为压力。 与其他压力测量方法相比,电容压力计具有以下特性:

  • **压力测量
  • 高精度且稳定性优异
  • 测量方式与气体类型无关
     
业务部门:半导体
产品类别:干式工艺控制
制造商:HORIBA STEC 有限公司
  • 自温控制型及*小级别 *VG-200S系列
  • 独特的电极结构实现了高精度和稳定性
  • SUS316L用于气体接触部分,包括隔膜
  • 可选为非加热、55°C温控和100°C温控 *VG-200S 系列
  • 材料与工艺的*佳温度设置 *VG-500S 系列
  • 一推再零
  • 电源±15伏直流,24伏直流
  • CE,RoHS合规


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