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YAMAMOTO-MS山本镀金 A-53-M2-P08 晶圆电镀设备
YAMAMOTO-MS山本镀金 A-53-M2-P08 晶圆电镀设备
该阳极板大小相当于晶圆槽。
请与阳极支架一起使用。
规模
|
晶圆尺寸 |
阳极尺寸（毫米） |
产品编号 |
|
2英寸 |
60x170xt² |
A-52-ST2-P08 |
|
4英寸 |
106×200xt2 |
A-52-ST4-P08 |
|
6英寸 |
160×275xt2 |
A-52-ST6-P08 |
|
8英寸 |
200×350xt2 |
A-52-ST8-P08 |
|
微胞 I |
59×95xt2 |
A-53-M1-P08 |
|
微小单元II |
74×105xt2 |
A-53-M2-P08 |
|
微胞III |
94×140xt2 |
A-53-M3-P08 |
|
10×15 |
28×120xt2 |
A-53-M1-P81 |
|
30X30 |
44×145xt2 |
A-53-M3-P81 |
材料
|
产品编号（*1） |
产品名称 |
|
A-52-ST□-P08-02 |
住友电解镍 |
|
A-52-ST□-P08-07 |
住友SK镍业 |
|
A-52-ST□-P08-08 |
含铜磷 |
|
A-52-ST□-P08-10 |
无氧铜（电铜） |
|
A-52-ST□-P08-12 |
高纯度锡（三菱电解锡） |
|
A-52-ST□-P08-18 |
钛铂金 |
|
A-52-ST□-P08-28 |
钛铱（用于硫酸铜） |
|
A-52-ST□P08-28-2 |
钛铱（用于黄金、三价铬等） |
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