产品名称：HONDA本多电子 工业产品

HONDA本多电子  W-357-1MQG-SKC   工业产品

HONDA本多电子  W-357-1MQG-SKC   工业产品

2006年，世界上首台石英振动超声清洗装置投入实际应用。
在这种方法中，超声波叠加在石英振动体上以清洁半导体晶圆。
它具有诸如相较批量清洗和流水清洗减少化学液体使用量等特性，且湿润部分仅为石英玻璃，垫片及其他橡胶材料未被液体浸湿，因此能够保持高度的清洁度。
此外，通过根据用途准备石英振动体的形状，可以根据需求进行有效清洗，如低损伤清洗、大面积清洗，以及晶圆端面斜面和缺口（晶圆端面的切口）的清洁。

概述

特色

以低损伤方式微型化图案清洗
晶圆■ 通过叠加超声波在石英振动器上清洁半导体晶圆 通过
化学溶液将超声波从石英振动器传播到半导体晶圆，接触处的化学溶液振动并通过加速去除表面污垢。
■清洁清洁，几乎不损害半导体晶圆 通过
在湿润部分使用石英和化学溶液，比起使用橡胶材料如填料的设备，清洁且不易洗脱或磨损橡胶。
■由于具有换能器冷却功能，通过用气体（氮气等）冷却换能器，可以实现稳定的连续运行，频率不波动。
此外，冷却技术允许在不发生突变温度的情况下延长使用寿命。

用途

修边后去除
残留物，CMP
后清理灰化栅极电极后去除聚合物

规格

■振荡器

● 输出可变范围：0W~12W（振动器允许输入：使用空气净化换能器冷却时连续10W）
● 环境环境：温度：15~35°C，湿度：10~85%
● 外接驱动器触点额定值：超声波振荡控制（控制侧） 接点输入：DC12V 16mA或以上
报警输出（主设备） 接点容量：DC24V 0.5A
■ 附带线缆：电源线（可选AC100V/2m或AC200V 2.4m），控制线（5m）x4

■振动身体

● 液体温度范围：20~50°C
● 换能器：PZT
● 材料：振动体：石英玻璃，包装：硅橡胶，外壳：PCTFE
● 线长：输出线 1.5 米 + 继电器线 3.5 米
● 空气净化接头：兼容管（外径 φ6）