EBARA荏原机械干式真空泵 ESA15-D 高斯摩（成都）国际贸易有限公司

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产品名称：EBARA荏原机械干式真空泵
产品型号：ESA15-D
产品厂商：EBARA荏原机械
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详情介绍：

EBARA荏原机械 ESA15-D 干式真空泵

ESA型号有多种型号，排量为1,400升/分钟~10,000升/分钟，适合排气如氢气;也有排量为20,000升/分钟~80,000升/分钟的型号，适合高速排气大腔室。适合轻型气体排气的10,000升/分钟以下型号设计紧凑，并可选择多种耐腐蚀材料，非常适合高流量轻型气体废气应用，如MO-CVD。较大型号排量大，但安静且振动低，还可选配有机溶剂排气，非常适合液晶溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等。

模型

单位

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W（-D）

ESA70WN（-D）

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W

ESA300W

ESA500W

ESA700W

冷却水

流

L/min

3.5~8

7~16

3.5~8

6~9

温度

°C

*多30人

电源

功率容量

kVA

6.4

12.8

10.3

12.6

23.7

41.3

46.5

排气速度

L/min

1,400（50Hz）1,700（60Hz）

2500（50Hz）3000（60Hz）

5,000（50Hz）6,000（60Hz）

7,000（50Hz）8,400（60Hz）

8,400（50Hz/60Hz）

10,000（50Hz/60Hz）

20,000（50Hz/60Hz）

28,000（50Hz）30,000（60Hz）

47,000（50Hz）50,000（60Hz）

80,000（50Hz/60Hz）

达到压力

400（50Hz）270（60Hz）

5.3（50Hz）4.0（60Hz）

0.27（50Hz）0.13（60Hz）

0.4（50Hz）0.27（60Hz）

0.13

0.27

0.13

0.27

0.53

0.5

连接口径

进气口

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW80

ISO100

ISO160

排气口

NW40

NW50

达到压力时的近似功率。

千瓦

2.9（50Hz）3.2（60Hz）

2.6（50Hz）2.9（60Hz）

5.2（50Hz）5.8（60Hz）

3.6（50Hz）4.0（60Hz）

4.2

4.9

3.2（50Hz）3.4（60Hz）

6.6（50Hz）7.3（60Hz）

5.1（50Hz）6.7（60Hz）

7.4

流

Pa•m3/s

14~17 （4.6）

17~20 （3.8）

34~40

24~27 （4.7）

54~57

54~45

17~20 （3.8）

7.5~10.5

8.5~11

电源相位/电压/频率

200V型号

三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz

400V型号

三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz

460V型号

三相/440伏/50赫兹三相/440-480伏/60赫兹

原理图质量

240

480

380

400

410

700

750

1200

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产品名称：EBARA荏原机械 干式真空泵

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